深圳天华机器设备股份有限公司曾祥秒获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳天华机器设备股份有限公司申请的专利蚀刻方法和蚀刻装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119730052B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411892764.6，技术领域涉及：H05K3/06；该发明授权蚀刻方法和蚀刻装置是由曾祥秒设计研发完成，并于2024-12-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本蚀刻方法和蚀刻装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种蚀刻方法和蚀刻装置，具备以下蚀刻工序：第一蚀刻工序、使用二流体喷嘴将第一蚀刻液和压缩空气喷附于蚀刻对象表面从而将蚀刻对象蚀刻；第二蚀刻工序、使用二流体喷嘴将压缩空气以及第二蚀刻液同时喷附于在上述第一蚀刻工序中被蚀刻后的蚀刻对象；第一蚀刻工序的二流体喷嘴的压缩空气的压力小于第二蚀刻工序的二流体喷嘴的压缩空气的压力，第二蚀刻液的蚀刻速率小于第一蚀刻液的蚀刻速率。本发明属于蚀刻技术领域，本发明的目的在于解决现有技术中二流体蚀刻技术存在压缩空气需求量大及蚀刻速率较慢的问题。达到的技术效果为：保障最佳的蚀刻效果的同时降低了压缩空气需求量，增大了蚀刻速率。
本发明授权蚀刻方法和蚀刻装置在权利要求书中公布了：1.一种蚀刻方法，其特征在于， 具备以下蚀刻工序： 第一蚀刻工序、使用二流体喷嘴将第一蚀刻液112和压缩空气喷附于蚀刻对象3表面从而将蚀刻对象3蚀刻； 第二蚀刻工序、使用二流体喷嘴将压缩空气以及第二蚀刻液212同时喷附于在上述第一蚀刻工序蚀刻完成后的蚀刻对象3； 所述第一蚀刻工序的二流体喷嘴的压缩空气的压力小于所述第二蚀刻工序的二流体喷嘴的压缩空气的压力，所述第二蚀刻液212的蚀刻速率小于所述第一蚀刻液112的蚀刻速率，所述第一蚀刻液112和所述第二蚀刻液212均为HCl与NaClO3的混合溶液，所述第一蚀刻液112的HCl浓度大于所述第二蚀刻液212的HCl浓度。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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