广西晶联光电材料有限责任公司陆映东获国家专利权
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龙图腾网获悉广西晶联光电材料有限责任公司申请的专利一种长金属氧化物管状靶材的烧结方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119797892B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510013035.7,技术领域涉及:C04B35/01;该发明授权一种长金属氧化物管状靶材的烧结方法是由陆映东;黄誓成;姚远;马超宁;张倍维;宋春华;梁盈祥;黄作;陆岱骏设计研发完成,并于2025-01-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种长金属氧化物管状靶材的烧结方法在说明书摘要公布了:本发明涉及一种长金属氧化物管状靶材的烧结方法,该方法是在烧结炉中放置承烧板,该承烧板开有中心气孔和环形透气孔,在承烧板上放置环形围挡,在中心气孔与透气孔之间的承烧板上铺一层小球,将管状靶材坯体立放在小球之上,将套管套在管状靶材坯体的外侧并立在环形围挡上面,套管与管状靶材坯体之间形成有与环形透气孔连通的环形空腔,在环形空腔中填入大球,然后对管状靶材进行烧结。本发明通过采用球形耐火材料对管状靶材素坯的底部和外圆周进行支撑,并利用球与球之间形成的空隙进行烧结气氛的扩散,可用于长度≥1200mm的管状靶材的烧结,烧结得到管状靶材弯曲变形≤0.5mm,变形小,烧结质量好,适合批量生产长尺寸的金属氧化物管状靶材。
本发明授权一种长金属氧化物管状靶材的烧结方法在权利要求书中公布了:1.一种长金属氧化物管状靶材的烧结方法,其特征在于:包括以下步骤: 1在烧结炉中放置承烧板1,该承烧板中间开有中心气孔12,中心气孔外的承烧板上布置有环形透气孔11,所述环形透气孔是由多个小孔组成; 2在承烧板上以中心气孔为圆心点放置环形围挡2,环形透气孔位于环形围挡内; 3在中心气孔与透气孔之间的承烧板上铺一层直径0.5~3mm的小球4; 4将管状靶材坯体6立放在小球4之上; 5将套管3套在管状靶材坯体的外侧并立在环形围挡上面,套管与管状靶材坯体之间形成有环形空腔,该环形空腔位于环形透气孔上方并与环形透气孔连通; 6在套管与管状靶材坯体之间形成的空腔中,填入直径大于小球1.5~2mm的大球5,大球的直径大于组成透气孔的小孔直径,靶材高度50%≤大球高度≤靶材高度80%,管状靶材坯体高出大球的高度小于等于1200mm; 7然后在烧结炉中对管状靶材进行烧结。
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