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深圳市新凯来工业机器有限公司滕衍超获国家专利权

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龙图腾网获悉深圳市新凯来工业机器有限公司申请的专利加工装置以及半导体设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119890090B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510070194.0,技术领域涉及:H01L21/67;该发明授权加工装置以及半导体设备是由滕衍超;王志勇;常硕;张琼设计研发完成,并于2025-01-16向国家知识产权局提交的专利申请。

加工装置以及半导体设备在说明书摘要公布了:本申请提供了一种加工装置以及半导体设备。加工装置包括腔体、灯头以及连接体,腔体的周壁设有多个连接轴,多个连接轴沿腔体的周向间隔设置,并均沿腔体的径向延伸。在腔体的轴向上,灯头位于腔体的一侧。连接体与灯头抵接,连接体包括多个连接件,多个连接件位于腔体的外侧并沿腔体的周向间隔设置,每个连接件均设有配合槽,配合槽贯穿连接件;其中,连接体能够相对腔体转动并带动灯头相对腔体移动,每个连接件能够相对连接轴移动,每个连接轴能够进入配合槽,并与配合槽的内壁抵接。在每个连接轴与配合槽的内壁抵接的情况下,腔体通过连接体与灯头组装在一起,有利于提高灯头与腔体组装后的稳定性及可靠性。

本发明授权加工装置以及半导体设备在权利要求书中公布了:1.一种加工装置,其特征在于,所述加工装置包括: 腔体,所述腔体的周壁设有多个连接轴,所述多个连接轴沿所述腔体的周向间隔设置,并均沿所述腔体的径向延伸; 灯头,在所述腔体的轴向上,所述灯头位于所述腔体的一侧;以及 连接体,所述连接体与所述灯头抵接,所述连接体包括多个连接件,所述多个连接件位于所述腔体的外侧并沿所述腔体的周向间隔设置,每个所述连接件均设有配合槽,所述配合槽贯穿所述连接件; 其中,所述连接体能够相对所述腔体转动并带动所述灯头相对所述腔体移动,每个所述连接件能够相对所述连接轴移动,每个所述连接轴能够进入所述配合槽,并与所述配合槽的内壁抵接; 所述配合槽包括开口槽及卡接槽,所述开口槽及所述卡接槽沿所述腔体的周向依次连通,所述开口槽沿所述腔体的周向延伸贯穿所述连接件; 每个所述连接轴能够从所述开口槽进入所述卡接槽,并与所述卡接槽的内壁抵接;其中,在所述连接轴位于所述开口槽的情况下,所述灯头与所述腔体在所述腔体的轴向上具有间距,在每个所述连接轴从所述开口槽朝所述卡接槽移动的过程中,所述连接体带动所述灯头朝所述腔体移动,在所述连接轴位于所述卡接槽的情况下,所述灯头与所述腔体抵接。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人深圳市新凯来工业机器有限公司,其通讯地址为:518111 广东省深圳市龙岗区平湖街道山厦社区中环大道中科谷产业园6栋1301;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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