江苏微导纳米科技股份有限公司李翔获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏微导纳米科技股份有限公司申请的专利等离子体装置和等离子体沉积设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119943637B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510097550.8，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权等离子体装置和等离子体沉积设备是由李翔;种展鹏;袁红霞;王娟;姚俊设计研发完成，并于2025-01-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本等离子体装置和等离子体沉积设备在说明书摘要公布了：本申请提供了一种等离子体装置和等离子体沉积设备。装置包括：等离子体反应腔，包括上电极板和下电极板，上下电极板具有电压差以产生等离子体；以及磁性材料，包括：长度方向沿上电极板的第一侧边方向设置在上电极板的第一边缘区域之上以及长度方向沿下电极板的第一侧边方向设置在下电极板的第一边缘区域之下的第一磁性材料。如此，利用磁性材料在等离子体反应腔内构建非均匀磁场，来改变等离子体反应腔边缘处的等离子密度，从而可以在大面积CCP放电时，降低等离子体反应腔边缘处出现的等离子体峰值，使等离子体在整个等离子体反应腔内的分布更加均匀。
本发明授权等离子体装置和等离子体沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种等离子体装置，其特征在于，包括： 等离子体反应腔，所述等离子体反应腔包括上电极板和下电极板，所述上电极板和所述下电极板具有电压差以产生等离子体，所述上电极板和所述下电极板均具有至少一个侧边；以及 磁性材料，包括：长度方向沿所述上电极板的第一侧边方向设置在所述上电极板的第一边缘区域之上以及长度方向沿所述下电极板的第一侧边方向设置在所述下电极板的第一边缘区域之下的第一磁性材料，其中，所述第一磁性材料在长度方向上的尺寸大于在宽度方向上的尺寸，所述上电极板的第一边缘区域是所述上电极板的靠近所述上电极板的第一侧边的区域，所述下电极板的第一边缘区域是所述下电极板的靠近所述下电极板的第一侧边的区域， 其中，位于所述上电极板之上的所述第一磁性材料的朝向所述上电极板的一面为第一极，背离所述上电极板的一面为第二极；位于所述下电极板之下的所述第一磁性材料的背离所述下电极板的一面为第一极，朝向所述下电极板的一面为第二极。
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