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无锡江岚智能装备有限公司高刘获国家专利权

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龙图腾网获悉无锡江岚智能装备有限公司申请的专利一种半片硅片镀膜变节距旋转装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120089628B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411705977.3,技术领域涉及:H01L21/677;该发明授权一种半片硅片镀膜变节距旋转装置是由高刘;黄文杰;季飞设计研发完成,并于2024-11-26向国家知识产权局提交的专利申请。

一种半片硅片镀膜变节距旋转装置在说明书摘要公布了:本发明公开了一种半片硅片镀膜变节距旋转装置,属于硅片运输设备技术领域;其中,该设备包括用于同时收发2张半片硅片的两个缓存机构和基底座;缓存机构上设置有具有开口结构的固定架,所述固定架设有两个缓存通道;基底座上设有与两个缓存机构对应的两个升降电机,每个升降电机的动力输出端与对应的丝杆连接,每个丝杆与对应的背板滑动连接,每个背板与对应的缓存机构滑动连接,基底座的底部设有旋转电机,每个升降电机带动对应的丝杆在Y轴方向升降运动,带动丝杆对应的缓存机构在Y轴方向升降运动。本发明提供的半片硅片镀膜变节距旋转装置,能够同时收发2张半片硅片,通过单个机器人配置两组上下料的变节距旋转装置,实现了一备一用的切换机制,保证了机器人不停运,从而提高了产能。

本发明授权一种半片硅片镀膜变节距旋转装置在权利要求书中公布了:1.一种半片硅片镀膜变节距旋转装置,其特征在于:包括,用于同时收发2张半片硅片的两个缓存机构和基底座6;两个缓存机构设置在同一个基底座6上, 缓存机构上设置有具有开口结构的固定架1-2,所述固定架1-2设有两个缓存通道; 所述基底座6上设有与两个缓存机构对应的两个升降电机,每个升降电机的动力输出端与对应的丝杆连接,每个丝杆与对应的背板滑动连接,每个背板与对应的缓存机构滑动连接,基底座6的底部设有旋转电机7,每个升降电机带动对应的丝杆在Y轴方向升降运动,带动丝杆对应的缓存机构在Y轴方向升降运动; 所述缓存机构上设置有第二气缸16,第二气缸16的驱动端与第二连杆组件15连接,第二连杆组件15与两个推板连接,推板设置在缓存机构上的第一底板1-1的空槽内,第二气缸16带动第二连杆组件15运动,推动推板前后运动; 所述缓存机构上设置有第一气缸13,第一气缸13的驱动端通过滑块与第一连杆组件14连接,第一气缸13推动滑块下移,带动第一连杆组件14将整个组件旋转0°-5°; 所述第一气缸13的一平面固定设置在第一背板10上,第一背板10与基底座6滑动连接,第一气缸13的另一平面与缓存机构上的第一底板1-1连接。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人无锡江岚智能装备有限公司,其通讯地址为:214000 江苏省无锡市新吴区长江东路208;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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