苏州天准科技股份有限公司魏亚菲获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州天准科技股份有限公司申请的专利一种复合气浮式载台线和智能双平台LDI系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120161683B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510392434.9，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种复合气浮式载台线和智能双平台LDI系统是由魏亚菲;丁治祥;秦晓军;刘冰;胡辉来;薛峰设计研发完成，并于2025-03-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种复合气浮式载台线和智能双平台LDI系统在说明书摘要公布了：本发明提供了一种复合气浮式载台线和智能双平台LDI系统，属于激光智能加工领域，复合气浮式载台线包括直线导轨、梁桥驱动器、复合气浮导向模块和承载梁桥；承载梁桥的下部通过梁桥驱动器被驱动的安装在燕尾状的直线导轨上；复合气浮导向模块包括刚性气浮组件和柔性气浮组件，承载梁桥的顶部和两侧采用不同的气浮组件支撑在直线导轨上；本申请的载台线采用复合气浮式，传动更稳定，精度更高，保障了曝光成像的传输精度，提高了工作效率，便于在IC载板、软板、HDI板、多层板、陶瓷基板、合金板等领域推广应用。
本发明授权一种复合气浮式载台线和智能双平台LDI系统在权利要求书中公布了：1.一种复合气浮式载台线，其特征在于：复合气浮式载台线包括直线导轨10、梁桥驱动器20、复合气浮导向模块30和承载梁桥40； 承载梁桥40的下部通过所述梁桥驱动器20被驱动的安装在燕尾状的直线导轨10上；复合气浮导向模块30包括刚性气浮组件31和柔性气浮组件32，承载梁桥40的顶部和两侧采用不同的气浮组件支撑在直线导轨10上； 刚性气浮组件31和柔性气浮组件32均包括气浮块、气浮杆和气浮锁紧件，刚性气浮组件31的气浮杆为刚性螺杆，柔性气浮组件32的气浮杆为弹性杆或气浮弹簧与刚性端头的组合。
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