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浙江晶越半导体有限公司高冰获国家专利权

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龙图腾网获悉浙江晶越半导体有限公司申请的专利一种P型碳化硅粉料的合成方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120247028B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510740268.7,技术领域涉及:C01B32/984;该发明授权一种P型碳化硅粉料的合成方法是由高冰设计研发完成,并于2025-06-05向国家知识产权局提交的专利申请。

一种P型碳化硅粉料的合成方法在说明书摘要公布了:发明涉及碳化硅粉料制造技术领域,尤其涉及一种P型碳化硅粉料的合成方法,所述方法包括以下步骤:S.1将硅源与碳源交替分层装填,各硅层表面均匀负载铝基掺杂剂;S.2在第一反应温度区间下以及真空环境中进行第一次碳化反应,生成初级碳化硅;S.3向反应体系中注入惰性气体与氢气的混合保护气,并于第二反应温度区间完成晶型转化和杂质脱除;S.4将合成产物依次经过氧气氧化热处理和酸性溶液清洗,去除表面残留杂质,得到P型碳化硅粉料。本发明通过控制硅源与碳源的混合方式、加热方式以及含有氢气的混合保护气的方案,协同实现高纯度碳化硅晶体的低缺陷生长,使电阻率均匀性偏差以及晶粒尺寸离散度大幅降低,同时工艺效率提升显著。

本发明授权一种P型碳化硅粉料的合成方法在权利要求书中公布了:1.一种P型碳化硅粉料的合成方法,其特征在于,包括以下步骤: S.1将硅源与碳源交替分层装填,各硅层表面均匀负载铝基掺杂剂,从而构造局域化的硅-碳-掺杂剂三元反应界面; S.2在第一反应温度区间下以及真空环境中进行第一次碳化反应,生成初级碳化硅; 步骤S.2中所述第一反应温度区间为1350-1900℃,真空压力≤5.0×10-5Pa,第一次碳化反应时间为10-20小时; S.3向反应体系中注入惰性气体与氢气的混合保护气,所述混合保护气惰性气体与氢气的体积比为30:0.5-2,并于第二反应温度区间完成晶型转化和杂质脱除; 步骤S.3中所述混合保护气在注入时分为两阶段操作: 第一阶段关闭真空泵后充入混合气至压力≥100mbar,第二反应温度区间为1700-1800℃; 第二阶段维持压力恒压升高第二反应温度区间至2000-2200℃; S.4将合成产物依次经过氧气氧化热处理和酸性溶液清洗,去除表面残留杂质,得到P型碳化硅粉料。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人浙江晶越半导体有限公司,其通讯地址为:312400 浙江省绍兴市嵊州市浦口街道浦南大道368号9号厂房二楼202室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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