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龙图腾网获悉北京和崎精密科技有限公司申请的专利一种用于快速降温的风道结构炉体获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120351735B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510577151.1，技术领域涉及：F27B1/24；该发明授权一种用于快速降温的风道结构炉体是由王连富;钟华;郑瑜谦;王成鑫设计研发完成，并于2025-05-06向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于快速降温的风道结构炉体在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种用于快速降温的风道结构炉体，该风道结构炉体由立式炉、进风系统、保温结构、承载容器、排风口、轴向进风道、风道结构组、炉丝、出风控制阀、进风控制阀、热偶传感器和水冷系统组成。本申请通过对风道结构进行合理地空间布局以及结构优化，能够达到快速冷却降温、减少冷却气体对炉体内壁的侵蚀、减少细小污染颗粒物的产生以及提高炉体使用寿命的目的，从而可以使立式炉更安全、可靠的运行。

本发明授权一种用于快速降温的风道结构炉体在权利要求书中公布了：1.一种用于快速降温的风道结构炉体，其特征在于，包括：立式炉、设置于立式炉外部的进风系统、设置于立式炉内壁的保温结构以及设置于立式炉内部的承载容器，所述保温结构和承载容器之间的空间构成炉膛，所述保温结构内设有分别沿所述立式炉轴向和周向延伸的轴向进风道和风道结构组；所述轴向进风道的输入端与进风系统的输出端连通，所述风道结构组的输入端与轴向进风道的输出端连通，所述风道结构组的输出端与炉膛相连通； 根据立式炉的高度将其划分为多个温区，每个所述温区设置至少一个风道结构组，各个所述温区内风道结构组的数量之间按预设数量比布设；沿立式炉的周向方向，每个所述风道结构组包括多个横向风道结构，且相邻两个所述横向风道结构之间按第一预设夹角分布；沿立式炉的轴向方向，相邻两个风道结构组中的相邻两个横向风道结构之间按第二预设夹角分布； 每个所述横向风道结构包括连通的长风道和换风室，所述长风道和换风室按预设长度比和预设直径比布设，用于降低冷却气体在横向风道结构输出端处的风压强度； 所述各个所述温区内风道结构组的数量之间按预设数量比布设，包括：根据立式炉的高度划分为X个温区，底部的温区内风道结构组的数量设置为Y，Y为大于1的整数，则从所述立式炉的顶部至底部方向，各个温区内风道结构组的数量比为：YX+1～2：YX-1+1～2：...：Y1～1，式中：YX表示第X个温区内风道结构组的数量，且YX、YX-1、...、Y1的取值均相同； 所述沿立式炉的周向方向，每个所述风道结构组包括多个横向风道结构，且相邻两个所述横向风道结构之间按第一预设夹角分布，包括：沿立式炉的周向方向，每个所述风道结构组的横向风道结构数量为2～30个，且相邻两个所述横向风道结构之间的夹角为12～180°； 所述沿立式炉的轴向方向，相邻两个风道结构组中的相邻两个横向风道结构之间按第二预设夹角分布，包括：沿立式炉的轴向方向，相邻两个风道结构组中的相邻两个横向风道结构之间的夹角为0～90°； 所述长风道的数量为两个，分别为第一长风道和第二长风道，所述第一长风道、换风室和第二长风道沿所述立式炉横向延伸方向依次布设，且第一长风道靠近炉膛布设，所述第一长风道、换风室和第二长风道之间的长度比为1～10：1～10：1～10，所述第一长风道、换风室和第二长风道之间的直径比为1～10：1～10：1～10。

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