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龙图腾网获悉安徽建筑大学;无锡维度机器视觉产业技术研究院有限公司申请的专利一种图案晶圆表面三维形貌重建方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120355852B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510575958.1，技术领域涉及：G06T17/00；该发明授权一种图案晶圆表面三维形貌重建方法是由史艳琼;邹叶骏;杨永辉;汪萍;施文松;刘梦阳设计研发完成，并于2025-05-06向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种图案晶圆表面三维形貌重建方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种图案晶圆表面三维形貌重建方法，包括：1.搭建小景深显微成像系统，并沿光轴方向扫描晶圆表面获取变焦图像序列；2.建立图像序列空间和颜色向量空间，计算像素颜色梯度和色散特征作为聚焦评价依据，拟合出高斯分布曲线，根据贝叶斯先验分布与后验分布原理获取陡峭度高、中心位置精确的聚焦评价曲线，将曲线峰值与扫描间隔结合获得晶圆表面初始深度图；3.对初始深度图进行滤波优化，输出最终三维重建结果。本发明能有效解决传统聚焦评价方法中低纹理和低对比度区域清晰度评价不准的问题，并且能提高聚焦峰值搜索的速度和精度，适用于晶圆表面高精度显微三维重建工作。

本发明授权一种图案晶圆表面三维形貌重建方法在权利要求书中公布了：1.一种图案晶圆表面三维形貌重建方法，其特征在于，是应用于由待测晶圆片、载物台、步进电机、CCD相机、显微镜和同轴光源所组成的场景中，并包括以下步骤： 步骤1：采集待测晶圆片表面的一组变焦图像序列,,…,,…,，其中，表示第张待测晶圆片表面图像，表示图像的总数量，表示单张图像的宽度，为单张图像的高度； 步骤2：将,,…,,…,按采集顺序沿光轴方向排列；将首张图像的左上角第一个像素点作为图像序列空间坐标系的原点，并将的两个像素坐标轴以及平行于光轴且经过原点的垂直轴作为图像序列空间坐标系的三个坐标轴，从而建立图像序列空间；令图像序列空间中任一像素点记为，其中，，，； 步骤3：基于图像序列空间和颜色向量空间，计算所有像素的颜色梯度评价值和色散评价值，从而获得图像梯度矩阵和图像色散矩阵，其中，为像素点在图像序列空间的颜色梯度评价值，为像素点在颜色向量空间中的色散评价值； 步骤4：根据图像梯度矩阵和图像色散矩阵，获得每个像素点的归一化梯度集合和归一化色散集合，并计算出每个像素点的高斯后验分布函数，以提取函数中心位置作为每个像素点的最佳聚焦位置，从而获得待测晶圆表面的初始深度图，其中，为像素点的深度值； 步骤5：对初始深度图依次进行中值滤波和引导滤波，得到优化后的深度图，用于实现待测晶圆片表面的高精度三维重建，其中，为像素点优化后的深度值。

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