山东大学李阳获国家专利权
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龙图腾网获悉山东大学申请的专利一种(AlxGa1-x)2O3薄膜原位退火装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120384269B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510531147.1，技术领域涉及：C23C14/58；该发明授权一种(AlxGa1-x)2O3薄膜原位退火装置及方法是由李阳;岳林凯;徐梦凡;张百涛设计研发完成，并于2025-04-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种(AlxGa1-x)2O3薄膜原位退火装置及方法在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体薄膜材料制造技术领域，尤其涉及一种AlxGa1‑x2O3薄膜原位退火装置及方法。原位退火装置包括沉积腔室和退火组件；所述沉积腔室内设置有靶台和底托，所述靶台和底托之间具有设定间隙；所述退火组件包括转轴、前加热盘和挡板，所述转轴转动安装在沉积腔室上，所述前加热盘和挡板安装在转轴内端的不同圆周角度上，且前加热盘和挡板位于所述靶台和底托之间，所述转轴为中空管，所述前加热盘上开设有出气孔，所述中空管与出气孔连通用于向沉积腔室内通入惰性气体。通过本发明实现原位退火，避免薄膜转移过程中的污染，并提高退火时的受热均匀性，从而减少薄膜缺陷，提高薄膜质量。
本发明授权一种(AlxGa1-x)2O3薄膜原位退火装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种AlxGa1-x2O3薄膜原位退火装置，其特征在于，包括：沉积腔室和退火组件； 所述沉积腔室内设置有靶台和底托，所述靶台和底托之间具有设定间隙； 所述底托设置有加热元件； 所述退火组件包括转轴、前加热盘和挡板，所述转轴转动安装在沉积腔室上，所述前加热盘和挡板安装在转轴内端的不同圆周角度上，且前加热盘和挡板位于所述靶台和底托之间，所述转轴为中空管，所述前加热盘上开设有出气孔，所述出气孔中设置有气体分散网，所述中空管与出气孔连通用于向沉积腔室内通入惰性气体； 所述沉积腔室还设置有生长气体管； 所述前加热盘上安装有电加热丝，所述电加热丝盘绕在前加热盘的设置有出气孔的端面上； 所述前加热盘直径为75mm，前加热盘放下时与底托相互平行且间距为5mm。
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