深圳中科飞测科技股份有限公司马砚忠获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳中科飞测科技股份有限公司申请的专利一种光声检测系统及激光光斑校准方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120403462B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510898570.5,技术领域涉及:G01B11/06;该发明授权一种光声检测系统及激光光斑校准方法是由马砚忠;崔舒涵;陈鲁设计研发完成,并于2025-07-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光声检测系统及激光光斑校准方法在说明书摘要公布了:本发明涉及光声测量技术领域,具体提供一种光声检测系统及激光光斑校准方法,在现有膜厚光声测量装置中增设显微镜等光学器件对光路不同位置处的光斑特征参数进行数据采集,根据光斑影像获取泵浦光和探测光的光斑抖动幅值和抖动频率,通过主动调节光束调节器,减小泵浦光和探测光的光斑抖动幅值和抖动频率;并依据待测样品和或标准样片的光斑影像获取泵浦光和探测光的光斑质心间距、质心间距的波动幅度和波动频率,并据此调节泵浦光和探测光的光束调节器,提高泵浦光光斑和探测光光斑重合度。本发明通过主动控制光束调节器的运动,对光斑抖动进行跟踪,提升泵浦光和探测光光斑重合度,有效提升了光声测量信号的信噪比。
本发明授权一种光声检测系统及激光光斑校准方法在权利要求书中公布了:1.一种光声检测系统,其特征在于,包括: 光源,用于发出探测光和泵浦光,所述泵浦光用于诱发待测样品的光学特性变化; 成像模块,采集泵浦光和探测光在光路至少一位置的光斑影像; 信号处理模块,基于所述至少一位置的光斑影像获取泵浦光和探测光在所述至少一位置的光斑抖动幅值、抖动频率和质心间距; 光束调节器,设置于泵浦光和或探测光的光路上,用于依据所述至少一位置的光斑抖动幅值、抖动频率和质心间距,抑制泵浦光和或探测光的光斑抖动并使泵浦光光斑和探测光光斑重合; 探测器,用于接收所述待测样品反射的探测光; 所述光束调节器包括反射镜; 泵浦光和探测光的光路上均设有光束调节器时,根据泵浦光在所述至少一位置的光斑抖动幅值和抖动频率确定泵浦光光路上反射镜的第一运动曲线,根据探测光在所述至少一位置的光斑抖动幅值和抖动频率确定探测光光路上反射镜的第二运动曲线,通过反射镜运动抑制泵浦光和探测光光斑位置抖动幅值和抖动频率; 泵浦光或探测光的光路上设有光束调节器时,根据泵浦光和探测光在所述至少一位置的光斑抖动幅值和抖动频率确定泵浦光或探测光光路上反射镜的第五运动曲线,通过反射镜运动使泵浦光和探测光光斑位置抖动幅值相同和抖动频率相同。
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