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龙图腾网获悉清华大学申请的专利一种融合的晶圆凸块三维形貌测量系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120445092B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510459747.1，技术领域涉及：G01B11/25；该发明授权一种融合的晶圆凸块三维形貌测量系统是由徐亦新;谈宜东设计研发完成，并于2025-04-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种融合的晶圆凸块三维形貌测量系统在说明书摘要公布了：本公开涉及一种融合的晶圆凸块三维形貌测量系统，包括：图像获取模块、计算模块；图像获取模块包括线扫描图像获取模块、相位移图像获取模块；线扫描图像获取模块包括线扫描投射单元和多个线扫描成像单元，线扫描投射单元用于将第一光束投射到晶圆凸块上；线扫描成像单元用于对晶圆凸块被投射第一光束的部分进行扫描，得到第一图像；相位移图像获取模块包括图案投射单元和多个相位移成像单元；图案投射单元用于将条纹图案通过第二光束投射到晶圆凸块上；相位移成像单元用于从多个角度获取包含被投射条纹图案的晶圆凸块的第二图像；计算模块用于基于多个第一图像、多个第二图像，确定晶圆凸块的形貌数据，可以提高了整个晶圆凸块形貌数据的准确性。

本发明授权一种融合的晶圆凸块三维形貌测量系统在权利要求书中公布了：1.一种融合的晶圆凸块三维形貌测量系统，其特征在于，所述系统包括：图像获取模块、计算模块； 图像获取模块包括：线扫描图像获取模块、相位移图像获取模块； 所述线扫描图像获取模块，包括：至少一个线扫描投射单元和多个线扫描成像单元， 所述线扫描投射单元，用于将第一光束投射到晶圆凸块上； 所述线扫描成像单元，用于对所述晶圆凸块被投射所述第一光束的部分进行扫描，得到第一图像； 所述相位移图像获取模块，包括：至少一个图案投射单元和多个相位移成像单元； 所述图案投射单元，用于将条纹图案通过第二光束投射到所述晶圆凸块上； 所述相位移成像单元，用于从多个角度获取包含被投射所述条纹图案的晶圆凸块的第二图像； 所述计算模块，用于基于多个所述第一图像、多个所述第二图像，确定所述晶圆凸块的形貌数据； 所述系统包括控制模块； 所述控制模块，用于控制所述图像获取模块逐行扫描所述晶圆凸块； 所述控制模块，在所述图像获取模块移动过程中，控制所述线扫描图像获取模块获取所述第一图像； 所述控制模块，在所述图像获取模块移动到每行末端的情况下，控制所述图像获取模块停止移动，并控制所述相位移图像获取模块获取所述第二图像； 所述计算模块，进一步用于： 基于多个所述第一图像，确定所述晶圆凸块的表面上各实体点的第一高度； 基于多个所述第二图像，确定所述各实体点的第二高度； 针对单个实体点，将所述单个实体点对应的多个所述第一高度进行第一融合，得到所述单个实体点的第一基础高度，将所述单个实体点对应的多个所述第二高度进行第二融合，得到所述单个实体点的第二基础高度； 将所述各实体点的所述第一基础高度、所述第二基础高度进行第三融合，得到所述各实体点的目标高度，所述目标高度用于确定所述形貌数据； 所述计算模块，进一步用于： 基于所述第二图像，确定所述第二图像中的像素各自对应的包裹相位； 对各所述包裹相位，进行第一解包裹处理，得到所述各实体点的第二初始高度； 确定表征所述包裹相位的质量的质量指标； 在所述质量指标大于质量阈值的情况下，将所述包裹相位对应的第一实体点的第二初始高度作为所述第一实体点的第二高度； 在所述质量指标不大于质量阈值的情况下，确定所述第一实体点的第二初始高度、第一基础高度之差值； 在所述差值小于第一阈值的情况下，将所述第一实体点的第二初始高度、第一基础高度进行第四融合，得到所述第一实体点的第二高度； 在所述差值不小于第一阈值的情况下，确定表征所述包裹相位对应的像素的周边像素； 基于各周边像素对应的第一包裹相位，对所述包裹相位进行第二解包裹处理，得到所述第一实体点的第二高度。

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