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龙图腾网获悉四川上特科技有限公司申请的专利一种用于晶圆刮涂的晶圆运载装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120587082B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511072811.7，技术领域涉及：B05C13/02；该发明授权一种用于晶圆刮涂的晶圆运载装置是由冯艾诚;李健儿;张正;冯永;胡仲波;胥凤蓉设计研发完成，并于2025-08-01向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于晶圆刮涂的晶圆运载装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种用于晶圆刮涂的晶圆运载装置，涉及晶圆运载技术领域，包括：转移机构，包括第一转动柱与承载盘，第一转动柱转动设置，承载盘绕所述中心轴圆周阵列设置并均跟随第一转动柱转动，承载盘内部均设有第一负压通道；暂存机构，有两组，每组均包括第二转动柱与承载座，第二转动柱均平行于所述中心轴设置，第二转动柱均绕转动设置并移动设置，第二转动柱上均安装有安装板，安装板两端均连接有承载板，每块承载板连接一组承载座，承载座内部均贯通有第二负压通道；刮涂机构，用于对晶圆进行刮涂；安装台，用于承载第一转动柱、第二转动柱与刮涂机构。本发明能够在运载时保护晶圆正面不受损伤，并提高晶圆的运载效率，具有较强的实用性。

本发明授权一种用于晶圆刮涂的晶圆运载装置在权利要求书中公布了：1.一种用于晶圆刮涂的晶圆运载装置，其特征在于，包括： 转移机构1，包括绕自身中心轴转动设置的第一转动柱11及与其连接并沿圆周阵列布置且随同转动的三个承载盘12，承载盘12内部均设有一端贯通至其上表面且内部气压可调的第一负压通道13，承载盘12均用于固定晶圆； 暂存机构2，有两组，包括平行于所述中心轴的第二转动柱21与多组承载座22，第二转动柱21绕自身轴线转动设置并沿自身轴向移动设置，第二转动柱21上沿自身轴向直线阵列地安装有数量匹配于承载座22组数的安装板23，安装板23两端均连接有承载板24，每块承载板24连接一组承载座22，承载座22内部均贯通有一端贯通至其上表面且内部气压可调的第二负压通道25，一组承载座22用于固定一块晶圆； 刮涂机构3，用于对固定于承载盘12上的晶圆进行刮涂； 安装台4，用于承载第一转动柱11、第二转动柱21与刮涂机构3；当第一转动柱11转动至第一预定角度时，其中一个承载盘12位于刮涂机构3的刮涂点位，另外两个承载盘12分别与两条第二转动柱21间隔有相同的预定间距。

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