湖南普照信息材料有限公司李伟获国家专利权
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龙图腾网获悉湖南普照信息材料有限公司申请的专利一种反射式光栅坯料、制作方法、及其检测系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120627907B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511113473.7，技术领域涉及：G01B11/02；该发明授权一种反射式光栅坯料、制作方法、及其检测系统是由李伟;栾怀壮;李翼;徐根;李欣设计研发完成，并于2025-08-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种反射式光栅坯料、制作方法、及其检测系统在说明书摘要公布了：本发明涉及光学衍射领域，提供了一种反射式光栅坯料、制作方法、及其检测系统，其中所述反射式光栅坯料包括半透层和反射层，所述半透层与所述反射层平行，所述半透层包括多个相同间隔排列的平行线条，当光束照射在半透层表面上时，所述线条透射部分光束并反射其余光束，透射半透层的光束照射在反射层上，所述反射层反射全部光束。采用本发明所述的反射式光栅坯料可以大大提高对于栅距测量的分辨率。
本发明授权一种反射式光栅坯料、制作方法、及其检测系统在权利要求书中公布了：1.一种反射式光栅坯料，其特征在于：包括半透层和反射层，所述半透层与所述反射层平行，所述半透层包括多个相同间隔排列的平行线条，当光束照射在半透层表面上时，所述线条透射部分光束并反射其余光束，透射半透层的光束照射在反射层上，所述反射层反射全部光束； 还包括相移层，所述相移层设置在半透层和反射层之间，以使透射半透层的光束与被半透层反射的光束产生光程差； 所述反射层厚度为80-100nm；所述相移层厚度为300-350nm；所述半透层厚度为10-20nm； 所述反射层的主要成分为；所述相移层的主要成分为或；所述半透层的主要成分为； 所述相移层的厚度与对应光束的波长满足关系：相位差与光程差满足： ； 其中光程差，为入射波长，n为相移层确定的折射率，d为相移层厚度，为实现相邻区域的光强干涉对比度最大化，需满足，得到 ； 即。
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