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龙图腾网获悉翼龙半导体设备(无锡)有限公司申请的专利一种晶圆分选机获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120674360B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511178504.7，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种晶圆分选机是由李海洋;胡国俊;奚衍东;杨通设计研发完成，并于2025-08-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆分选机在说明书摘要公布了：本发明提供一种晶圆分选机，本发明涉及晶圆生产技术领域，包括承载底座，位于承载底座上端的搬运装置、分选装置以及检测装置，所述承载底座上端还设置有限位晶圆的第一限位组件，以及限位料盘的第二限位组件，所述分选装置位于第一限位组件和第二限位组件之间，所述分选装置包括第一分选轮和第二分选轮，所述分选轮均包括轮体以及多个围绕轮体弧形表面圆周等距分布的吸盘，所述轮体第一侧平面固定有驱动转轴，第二侧平面设置与多个吸盘连通的负压组件。该发明多个芯片在输送转运的过程中自动完成检测，提高了检测的效率，芯片偏转角度较大，保证检测结果的准确。

本发明授权一种晶圆分选机在权利要求书中公布了：1.一种晶圆分选机，包括承载底座100，位于承载底座100上端的搬运装置400、分选装置500以及检测装置600，其特征在于： 所述承载底座100上端还设置有限位晶圆210的第一限位组件110，以及限位料盘310的第二限位组件120，所述分选装置500位于第一限位组件110和第二限位组件120之间，所述分选装置500包括第一分选轮5001和第二分选轮5002； 所述分选轮均包括轮体510以及多个围绕轮体510弧形表面圆周等距分布的吸盘550，所述轮体510第一侧平面固定有驱动转轴520，第二侧平面设置与多个吸盘550连通的负压组件，所述第一分选轮5001和第二分选轮5002分别位于第一平面、第二平面内转动，所述第一平面和第二平面相互交叉； 所述分选装置500包括第三分选轮5003，所述第二分选轮5002位于第三分选轮5003和第一分选轮5001之间，且所述第三分选轮5003位于第一平面内转动； 所述第一分选轮5001、第二分选轮5002和第三分选轮5003尺寸规格相同，且转动速率相同； 所述轮体510弧形表面开有多个安装口511，所述吸盘550设置于对应的安装口511内，所述吸盘550与负压组件之间通过负压支道连通，所述负压支道内设置有启闭阀，所述启闭阀与驱动转轴520电性连接；所述负压组件包括负压主管540； 所述吸盘550包括位于外侧相对固定的限位套551以及位于限位套551内侧相对活动的吸附主体552，所述吸附主体552与安装口511内壁之间设置有弹性组件； 所述弹性组件为具有膨胀弹性的弹性气囊，所述弹性气囊常态处于膨胀状态，所述弹性气囊串接于吸盘550与负压支管之间； 所述检测装置600位于第一限位组件110和第二限位组件120之间，所述检测装置600仅包括第一检测组件和第二检测组件，所述第一检测组件和第二检测组件均为视觉检测元件，所述第一检测组件检测方向朝向第一分选轮5001弧形表面，所述第二检测组件检测方向朝向第二分选轮5002弧形表面。

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