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龙图腾网获悉浙江晟霖益嘉科技有限公司申请的专利一种双晶圆处理腔及其控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120683456B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511187434.1，技术领域涉及：C23C14/22；该发明授权一种双晶圆处理腔及其控制方法是由马东旭;贺忻;王保;王慧锋;丁鑫明;徐钧设计研发完成，并于2025-08-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种双晶圆处理腔及其控制方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种双晶圆处理腔及其控制方法，所述双晶圆处理腔包括设有密闭腔室的腔体组件；设置于腔室内的支撑组件，包括支撑底座、升降轴及晶圆支撑板，晶圆支撑板分层叠装于支撑底座上，分别支撑第一晶圆与第二晶圆；上灯阵组件与下灯阵组件，与第一晶圆和第二晶圆轴向对应设置，安装于所述腔室的外侧；用于监测晶圆温度的温度传感器；其中，所述升降轴通过传动机构驱动支撑组件升降，调节晶圆与灯阵组件的间距。通过上灯阵组件与下灯阵组件及分层设置的晶圆支撑板设置，使得双片晶圆在同一腔体内同步加热，提升了晶圆加热效率，通过可升降调节的支撑组件设置，能够减小两片晶圆温度的差异性，提高两片晶圆的温度均匀性。

本发明授权一种双晶圆处理腔及其控制方法在权利要求书中公布了：1.一种双晶圆处理腔，其特征在于，包括： 腔体组件，所述腔体组件设有密闭腔室100； 支撑组件，设置于所述腔室100内，包括支撑底座14，14’、升降轴20，20’及晶圆支撑板；所述升降轴20，20’一端与所述支撑底座14，14’连接，另一端连接传动机构；所述晶圆支撑板分层叠装于所述支撑底座14，14’上，分别支撑第一晶圆9与第二晶圆15； 上灯阵组件5与下灯阵组件6，安装于所述腔室100轴向两端的外侧，并与所述第一晶圆9和所述第二晶圆15轴向对应设置，用于所述第一晶圆9和所述第二晶圆15的加热； 温度监测单元，包括固定于所述晶圆支撑板的第一温度传感器22和第二温度传感器24，所述第一温度传感器22用于所述第一晶圆9温度的监测，所述第二温度传感器24用于所述第二晶圆15温度的监测； 其中，所述升降轴20，20’通过所述传动机构驱动所述支撑组件升降，调节所述第一晶圆9与所述第二晶圆15与所述上灯阵组件5和所述下灯阵组件6的间距以优化所述第一晶圆9与所述第二晶圆15的温度均匀性。

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