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龙图腾网获悉天津吉兆源科技有限公司申请的专利多晶硅还原炉的辅助加热装置、加热系统及还原炉系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120698469B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511212533.0，技术领域涉及：C01B33/027；该发明授权多晶硅还原炉的辅助加热装置、加热系统及还原炉系统是由李树瑜设计研发完成，并于2025-08-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本多晶硅还原炉的辅助加热装置、加热系统及还原炉系统在说明书摘要公布了：本发明公开了多晶硅还原炉的辅助加热装置、加热系统及还原炉系统。辅助加热装置包括：射频电源、阻抗匹配模块、电容模块、滤波辅助模块和控制模块；电容模块包括数量与电极的数量相等的第一电容单元；第一电容单元与电极一一对应；滤波辅助模块包括数量与电极数量相等的滤波辅助单元；各滤波辅助单元均包括第二电容单元和多个磁环，滤波辅助单元中的多个磁环环绕滤波辅助单元对应的电极，滤波辅助单元中的多个磁环和电极共同构成电感器。本发明提供的辅助加热装置可直接安装在现有的多晶硅还原炉加热装置上，安装方便，还可降低硅棒内芯与硅棒表面的温度差异，改善硅棒内芯易熔融的问题，增大硅棒的直径，提高硅棒生长速率及生产产能。

本发明授权多晶硅还原炉的辅助加热装置、加热系统及还原炉系统在权利要求书中公布了：1.一种多晶硅还原炉的辅助加热装置，其特征在于，所述多晶硅还原炉包括炉体和位于炉体内的多个硅棒；每一硅棒均对应一电极； 所述辅助加热装置包括：射频电源、阻抗匹配模块、电容模块、滤波辅助模块和控制模块； 所述电容模块包括数量与所述电极的数量相等的第一电容单元；所述第一电容单元与所述电极一一对应； 所述滤波辅助模块包括数量与所述电极数量相等的滤波辅助单元；所述滤波辅助单元与为所述硅棒供电的电极一一对应；各所述滤波辅助单元均包括第二电容单元和多个磁环，所述滤波辅助单元中的多个所述磁环环绕所述滤波辅助单元对应的电极，所述滤波辅助单元中的多个所述磁环和所述电极共同构成电感器；所述第二电容单元的第一端电连接至其对应的电极的第一端，所述第二电容单元的第二端接地； 所述阻抗匹配模块电连接在所述射频电源的输出端与各所述第一电容单元的第一端之间； 各所述第一电容单元的第二端电连接至其对应电极的第二端； 所述控制模块与所述阻抗匹配模块电连接，用于采集所述射频电源输出端的反射功率，并基于所采集的反射功率动态调节所述阻抗匹配模块的阻抗值，以实现阻抗匹配。

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