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涌淳半导体(无锡)有限公司曹晓光获国家专利权

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龙图腾网获悉涌淳半导体(无锡)有限公司申请的专利一种半导体长晶缺陷识别智能分选方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120707570B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511195968.9,技术领域涉及:G06T7/00;该发明授权一种半导体长晶缺陷识别智能分选方法是由曹晓光;李峰;邵秋新;张同雷设计研发完成,并于2025-08-26向国家知识产权局提交的专利申请。

一种半导体长晶缺陷识别智能分选方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种半导体长晶缺陷识别智能分选方法,涉及视觉识别技术领域,解决当前晶圆检测对缺陷类型识别不准确的问题,方法为:依据历史缺陷数据对晶圆的缺陷图像进行标准化,标准化得到晶圆的标准缺陷图像,基于标准缺陷图像检测得到晶圆的缺陷区域;对晶圆的二值化图像进行检测,依据检测结果判定晶圆的缺陷类型;基于缺陷数据构建晶圆的缺陷类型和对应的缺陷判定规则;使用晶圆的缺陷类型以及对应的缺陷判定规则对视觉模型进行训练,依据视觉模型的训练结果和晶圆的缺陷类型选择对应的视觉模型作为首选视觉模型,本发明实现对晶圆缺陷类型的准确检测和准确识别。

本发明授权一种半导体长晶缺陷识别智能分选方法在权利要求书中公布了:1.一种半导体长晶缺陷识别智能分选方法,其特征在于,方法包括: 步骤S100,依据历史缺陷数据对晶圆的缺陷图像进行标准化,标准化得到晶圆的标准缺陷图像,基于标准缺陷图像检测得到晶圆的缺陷区域;历史缺陷数据为晶圆的平场缺陷图像和暗场缺陷图像; 其中,所述步骤S100包括如下子步骤: 步骤S101,获取晶圆的历史缺陷数据,并将历史缺陷数据的所有缺陷图像对应分辨率裁切为固定长度和固定宽度; 步骤S102,依据平场缺陷图像中所有像素点的像素值构建晶圆的平场像素矩阵,同时基于暗场缺陷图像中所有像素点的暗场值构建晶圆的暗场像素矩阵; 步骤S103,将平场像素矩阵中所有像素点的像素值相加求和后取平均值,计算得到平场缺陷图像的平均像素值; 步骤S104,依据像素点的像素值、暗场值以及平场缺陷图像的平均像素值,通过标准化公式计算得到所有像素点的矫正像素值; 步骤S105,构建缺陷图像对应空矩阵,依据标准坐标将所有像素点的矫正像素值填入空矩阵,得到晶圆的缺陷矩阵,基于缺陷矩阵中所有标准坐标对应矫正像素值构建得到晶圆的标准缺陷图像; 步骤S106,将标准缺陷图像内的晶圆部分进行切割,而后构建标准缺陷图像的检测窗口,并获取检测窗口内矫正像素值的矫正像素平均值; 当矫正像素值大于等于矫正像素平均值时,将对应像素点的检测值记为一; 当矫正像素值小于矫正像素平均值时,将对应像素点的检测值记为零; 步骤S107,基于像素点的检测值构建晶圆的二值化图像,将相邻且检测值为零的像素点的进行合并,合并得到晶圆的缺陷区域; 步骤S200,对晶圆的二值化图像进行检测,依据检测结果判定晶圆的缺陷类型; 步骤S300,基于缺陷数据构建晶圆的缺陷类型和对应的缺陷判定规则; 步骤S400,使用晶圆的缺陷类型以及对应的缺陷判定规则对视觉模型进行训练,依据视觉模型的训练结果和晶圆的缺陷类型选择对应的视觉模型作为首选视觉模型。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人涌淳半导体(无锡)有限公司,其通讯地址为:214000 江苏省无锡市新吴区城南路228号306室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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