四川上特科技有限公司冯艾诚获国家专利权
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龙图腾网获悉四川上特科技有限公司申请的专利一种用于晶圆加工的玻璃粉擦除装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120714984B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511232783.0，技术领域涉及：B08B11/02；该发明授权一种用于晶圆加工的玻璃粉擦除装置是由冯艾诚;李健儿;冯永;张正;胡仲波设计研发完成，并于2025-09-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于晶圆加工的玻璃粉擦除装置在说明书摘要公布了：本申请提供一种用于晶圆加工的玻璃粉擦除装置，属于于晶圆加工技术领域，包括：存纸筒，其底部设有圆形挡板，圆形挡板上开设下料口；夹持机构，设于存纸筒正下方，夹持机构的一端与一个竖向的转动柱连接，转动柱连接底部与一个底板转动连接，底板上设有第一转动机构；条形吸盘，设于夹持机构下方，条形吸盘底部与一个升降机构的伸缩端连接；旋转吸盘，间隔设于升降机构的一侧，旋转吸盘用于吸附晶圆并带动晶圆旋转，当第一转动机构带动转动柱转动预设角度时，夹持机构处于旋转吸盘正上方，且夹持机构夹持的滤纸处于旋转吸盘吸附的晶圆的正上方，并与晶圆上表面抵接。该装置能够实现自动对晶圆表面玻璃粉的擦除，同时提高滤纸的取放、对位效率。
本发明授权一种用于晶圆加工的玻璃粉擦除装置在权利要求书中公布了：1.一种用于晶圆加工的玻璃粉擦除装置，其特征在于，包括： 存纸筒1，其底部设有圆形挡板101，圆形挡板101上沿其径向开设有贯穿两端的下料口1011； 夹持机构2，设于存纸筒1正下方，用于从下料口1011夹持被拉出存纸筒1最底部的滤纸，夹持机构2的一端与一个竖向的转动柱3连接，转动柱3连接底部与一个底板304转动连接，底板304上设有第一转动机构，用于带动转动柱3转动； 条形吸盘4，设于夹持机构2下方，条形吸盘4底部与一个升降机构7的伸缩端连接，当升降机构7的伸缩端完全推出时，条形吸盘4与存纸筒1内最底部的滤纸抵接； 旋转吸盘5，间隔设于升降机构7的一侧，旋转吸盘5用于吸附晶圆并带动晶圆旋转，当第一转动机构带动转动柱3转动预设角度时，夹持机构2处于旋转吸盘5正上方，且夹持机构2夹持的滤纸处于旋转吸盘5吸附的晶圆的正上方并与晶圆上表面抵接。
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