国镓芯科(成都)半导体科技有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉国镓芯科(成都)半导体科技有限公司申请的专利一种可调式压力加热炉及其使用方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120720868B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511144798.1,技术领域涉及:F27B17/00;该发明授权一种可调式压力加热炉及其使用方法是由请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成,并于2025-08-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种可调式压力加热炉及其使用方法在说明书摘要公布了:本发明涉及半导体制造设备技术领域,尤其涉及一种可调式压力加热炉及其使用方法,它包括炉体内的内层框架和外层框架,以及内外框架之间环绕的加热丝,所述内层框架上沿侧壁环绕设置有滑槽,所述滑槽上滑动连接有多个卡座,所述加热丝上套设有数个陶瓷环,数个陶瓷环和多个卡座分别对应卡接,所述外层框架的侧壁开设有操作通孔,所述加热丝由操作通孔处导出。本发明可以解决传统陶瓷环因固定安装导致的单体损坏需整体停机拆卸的问题,大幅缩减检修时间,提高生产效率;在热电偶检测到温度异常时,通过转动调节陶瓷环,使得电热丝卡于不同位置的限位卡槽上,进而控制该段电热丝与釜体之间的距离,实现加热均匀性的及时精准调控。
本发明授权一种可调式压力加热炉及其使用方法在权利要求书中公布了:1.一种可调式压力加热炉,包括用于对釜体加热的炉体1,所述炉体1包括内层框架2和外层框架3,所述内层框架2和外层框架3之间环绕设置有加热丝4,其特征在于:所述内层框架2上沿侧壁环绕设置有滑槽5,所述滑槽5上滑动连接有多个卡座6,所述加热丝4上套设有数个陶瓷环7,数个陶瓷环7和多个卡座6分别对应卡接,所述外层框架3的侧壁开设有操作通孔8,所述加热丝4由操作通孔8处导出与外部的电源连接,所述陶瓷环7的内侧壁还设置有固定槽10,所述固定槽10沿着陶瓷环7的内侧壁呈阶梯结构设置,所述固定槽10上等间距设置有限位卡槽11,所述限位卡槽11的槽面与加热丝4的直径相同。
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