新毅东(北京)科技有限公司张琪获国家专利权
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龙图腾网获悉新毅东(北京)科技有限公司申请的专利准分子激光器剩余使用寿命的预测方法、装置及电子设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120722675B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511165155.5，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权准分子激光器剩余使用寿命的预测方法、装置及电子设备是由张琪;符友银;储超群;杨光华设计研发完成，并于2025-08-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本准分子激光器剩余使用寿命的预测方法、装置及电子设备在说明书摘要公布了：本发明提供一种准分子激光器剩余使用寿命的预测方法、装置及电子设备，涉及半导体制造技术领域。所述方法包括获取目标复合特征，所述目标复合特征包括脉冲能量复合特征、放电参数复合特征和气体参数复合特征；根据所述目标复合特征中各复合特征之间的互耦效应生成物理耦合矩阵，通过所述物理耦合矩阵对所述目标复合特征进行加权融合并设置哈密顿能量约束项，得到目标融合特征；基于所述目标融合特征计算全局退化因子；根据所述目标融合特征和所述全局退化因子预测所述准分子激光器的剩余使用寿命，得到预测结果。该方法通过多源特征数据融合和动态物理约束，能够实现准分子激光器剩余使用寿命的高精度和实时性预测。
本发明授权准分子激光器剩余使用寿命的预测方法、装置及电子设备在权利要求书中公布了：1.一种准分子激光器剩余使用寿命的预测方法，其特征在于，包括： 获取目标复合特征，所述目标复合特征包括脉冲能量复合特征、放电参数复合特征和气体参数复合特征，所述脉冲能量复合特征用于表征电极蚀损和或光学模块退化程度，所述放电参数复合特征用于表征放电等离子体状态，所述气体参数复合特征用于表征气体劣化程度； 根据所述目标复合特征中各复合特征之间的互耦效应生成物理耦合矩阵，通过所述物理耦合矩阵对所述目标复合特征进行加权融合并设置哈密顿能量约束项，得到目标融合特征，所述哈密顿能量约束项用于约束获取所述目标融合特征的过程符合物理能量守恒； 基于所述目标融合特征计算全局退化因子，所述全局退化因子用于动态表征准分子激光器的整体退化程度； 根据所述目标融合特征和所述全局退化因子预测所述准分子激光器的剩余使用寿命，得到预测结果。
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