柯尔微电子装备(厦门)有限公司胡俊林获国家专利权
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龙图腾网获悉柯尔微电子装备(厦门)有限公司申请的专利晶圆检测装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120741509B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511258447.3，技术领域涉及：G01N21/95；该发明授权晶圆检测装置及方法是由胡俊林;郑隆结;孙会民设计研发完成，并于2025-09-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆检测装置及方法在说明书摘要公布了：本公开提供一种晶圆检测装置，属于半导体制造设备领域，包括：支撑头、透明板、光学模组和移动模组。支撑头内部设置有通孔，通孔的孔壁上端形成支撑部，用于承载晶圆；透明板由透明材料制成，设置于通孔内且透明板的厚度小于通孔的深度，以使透明板的外表面与通孔的内壁面之间形成容腔；光学模组朝向透明板设置，用于透过透明板和容腔获取位于支撑部上的晶圆的背面图像；移动模组设置于支撑头和或光学模组，用于驱动支撑头和光学模组相对移动，以调节光学模组与晶圆之间的距离。
本发明授权晶圆检测装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆检测装置，其特征在于，包括： 支撑头，其内部设置有通孔，所述通孔的孔壁上端形成支撑部，用于承载晶圆； 透明板，由透明材料制成，设置于所述通孔内，所述透明板的厚度小于通孔的深度，且透明板的上表面低于通孔的上端面，以使所述透明板的外表面与通孔的内壁面之间形成容腔； 光学模组，设置于所述支撑头下方并朝向所述透明板，用于透过所述透明板和所述容腔获取位于所述支撑部上的晶圆的背面图像； 移动模组，设置于所述支撑头和或光学模组，用于驱动所述支撑头和光学模组相对移动，以调节光学模组与晶圆之间的距离， 其中，所述支撑头设置有注液通道，所述注液通道包括依次连通的注液接口和第一连通孔，所述第一连通孔延伸至所述容腔，所述支撑头在所述通孔外围环绕设置有环形凸台和储水槽，所述环形凸台构成所述支撑部，所述储水槽位于所述环形凸台的外周，并设置有吸水环；所述支撑头还设置有出液通道，所述出液通道包括出液接口和第二连通孔，所述第二连通孔的一端与所述储水槽连接，另一端与所述出液接口连通。
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