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龙图腾网获悉合肥真萍电子科技有限公司申请的专利一种晶圆氨气反转炉获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120767229B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511281914.4，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种晶圆氨气反转炉是由刘汉东;任次春;陈善瑾;卫功成;刘伟设计研发完成，并于2025-09-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆氨气反转炉在说明书摘要公布了：本发明提供了一种晶圆氨气反转炉，属于晶圆制备技术领域，它解决了现有单向流向的氨气接触晶圆表面不均匀的技术问题。一种晶圆氨气反转炉，包括下框架、下框架上固定的上框架，上框架内开设有炉膛，炉膛内设置有炉胆，炉胆内排列固定有多对安装座，每对安装座上均设置有放置板，每个放置板的顶面开设有放置槽，放置槽的槽口处固定有陶瓷网，且放置槽内转动连接有多个吹拂角度调整套口，陶瓷网上放置有多个晶圆，每对安装座上均固定有多个插接头，每个插接头的顶端均呈圆头状。本发明具有实现改变氨气的吹拂角度，提高晶圆与氨气的接触面积，提高晶圆反应效果的优点。

本发明授权一种晶圆氨气反转炉在权利要求书中公布了：1.一种晶圆氨气反转炉，包括下框架1、下框架1上固定的上框架2，其特征在于，所述上框架2内开设有炉膛3，炉膛3内设置有炉胆4，炉胆4内排列固定有多对安装座5，每对安装座5上均设置有放置板6，每个放置板6的顶面开设有放置槽7，放置槽7的槽口处固定有陶瓷网8，且放置槽7内转动连接有多个吹拂角度调整套口9，陶瓷网8上放置有多个晶圆，每对安装座5上均固定有多个插接头10，每个插接头10的顶端均呈圆头状，且每个放置板6的左右两侧均开设有多个插接槽11，每个插接槽11内均固定有防漏胶层12，每个放置板6的左右两侧均开设有多条输送通道一13，每个放置板6的左右两侧均开设有多个驱动腔14，每个插接槽11与驱动腔14之间通过相对应的输送通道一13进行连通，每个驱动腔14内均转动连接有驱动杆15，每个驱动杆15上均排列固定有陶瓷叶片16，每个驱动杆15的底端均同轴固定连接有往复丝杠17，每个放置板6的左右两侧均滑动连接有多个调控齿条18，每个调控齿条18均与相对应的往复丝杠17进行螺纹连接，且每个放置板6的左右两侧均转动连接有多个调控齿轮19，每个调控齿条18均与相对应的调控齿轮19进行啮合，且每个调控齿轮19均与相对应的吹拂角度调整套口9进行同轴固定连接，且每个放置板6内均固定有多个氨气吹拂座20，每个氨气吹拂座20的吹拂口均伸入相对应的吹拂角度调整套口9的底部开口。

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