芯联集成电路制造股份有限公司张鹏波获国家专利权
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龙图腾网获悉芯联集成电路制造股份有限公司申请的专利蒸发装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223504834U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422818683.3，技术领域涉及：B01D1/00；该实用新型蒸发装置是由张鹏波;李斌;葛新伟设计研发完成，并于2024-11-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本蒸发装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体制造技术领域，提供了一种蒸发装置，包括储料单元、蒸发单元和供风单元；所述储料单元的出料口与所述蒸发单元的进料口连通；所述供风单元的出风口与所述蒸发单元的进料口连通。该蒸发装置通过配置供风单元，一方面有助于为向蒸发单元内注液提供动力，另一方面可将溶液雾化，有利于加快蒸发速度，提高蒸发效率。
本实用新型蒸发装置在权利要求书中公布了：1.一种蒸发装置，其特征在于，包括储料单元、蒸发单元和供风单元； 所述储料单元的出料口与所述蒸发单元的进料口连通； 所述供风单元的出风口与所述蒸发单元的进料口连通； 所述储料单元包括储料容器和出料管，所述出料管的第一端位于所述储料容器内，所述出料管的第二端作为所述储料单元的出料口并高于所述出料管的第一端； 所述蒸发单元包括蒸发容器和冷凝件； 所述蒸发容器上设置有排液口，所述冷凝件设置于所述蒸发容器内，且位于所述蒸发单元的进料口之上； 所述冷凝件上设置有导流面，所述导流面用于将冷凝件表面附着的冷凝液引流至所述排液口。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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