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龙图腾网获悉浙江精工集成科技股份有限公司申请的专利一种CVD工艺中的尾气处理装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223505098U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423133290.5，技术领域涉及：B01D53/78；该实用新型一种CVD工艺中的尾气处理装置是由张潇;李爱军;谢钢设计研发完成，并于2024-12-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种CVD工艺中的尾气处理装置在说明书摘要公布了：一种CVD工艺中的尾气处理装置，属于尾气处理设备技术领域；包括沉积炉本体，所述沉积炉本体的顶部设置有连接管道，所述连接管道的另一端连接有中和箱，所述连接管道插入中和箱的一端横向贯穿中和箱内部设置，所述中和箱的底部设置有多个支腿；本实用新型通过在沉积炉本体与连接管道连接处设置集气罩，且在集气罩的外表面设置对其进行密封的检测盖，两者相互配个防止管道中H2发生泄漏，同时在检测盖上设置泄露检测器，当有H2发生泄漏时，能够及时发生警报，接着在中和箱内部设置刮料装置，且通过套圈设置在收纳槽内，且套圈侧面的多个辅助滚珠与收纳槽两侧的圆环箍相互接触，从而加高了套圈在收纳槽内的高度。

本实用新型一种CVD工艺中的尾气处理装置在权利要求书中公布了：1.一种CVD工艺中的尾气处理装置，包括沉积炉本体1，其特征在于：所述沉积炉本体1的顶部设置有连接管道12，所述连接管道12的另一端连接有中和箱2，所述连接管道12插入中和箱2的一端横向贯穿中和箱2内部设置，所述中和箱2的底部设置有多个支腿23，所述中和箱2的内部开设有环形的收纳槽26，所述收纳槽26的两侧均设置有凸起的圆环箍27，所述收纳槽26内设置有刮料装置，所述中和箱2的底部设置有与中和箱2相通的齿轮箱29，所述中和箱2的底部开设有与齿轮箱29相通的通槽28，所述通槽28开设在收纳槽26内，所述齿轮箱29内部设置有齿轮291，所述齿轮箱29的外侧设置有电机210，所述电机210的输出端贯穿齿轮箱29与齿轮291相互插接，所述齿轮291的顶部通过通槽28延伸至中和箱2内部，所述中和箱2的底部设置有入液管24，所述入液管24的输入端上设置有第一泵体241，所述中和箱2的右侧顶部分别设置有出气管22和出液管25，所述出液管25的顶部向下延伸至地面，所述出液管25的输出端上设置有第二泵体251。

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