湖北星辰技术有限公司冯泳强获国家专利权
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龙图腾网获悉湖北星辰技术有限公司申请的专利一种保护液涂布装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223505509U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422872586.2，技术领域涉及：B05B16/20；该实用新型一种保护液涂布装置是由冯泳强;陈帮;王梦婷设计研发完成，并于2024-11-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种保护液涂布装置在说明书摘要公布了：本申请涉及一种保护液涂布装置，具体涉及半导体激光开槽装置技术领域。一种保护液涂布装置，其包括：操作台、涂布组件、清洗组件和放置组件，放置组件设置于操作台上，放置组件用于固定待加工晶圆，涂布组件包括供液装置和涂布喷头，涂布喷头设置于操作台上，且涂布喷头位于待加工晶圆的上方，供液装置与涂布喷头连接，清洗组件包括清洗头，清洗头的出液口与待加工晶圆涂覆保护液的一侧对应。本申请提供的保护液涂布装置，通过在机台上设置涂布组件和清理组件，通过单个设备即可进行涂布和清理操作，节省设备成本。切换操作步骤时无需转移待加工晶片，提高操作效率的同时降低了晶圆损坏和二次污染的风险。
本实用新型一种保护液涂布装置在权利要求书中公布了：1.一种保护液涂布装置，其特征在于，包括：操作台100、涂布组件、清洗组件300和放置组件400，所述放置组件400设置于所述操作台100上，所述放置组件400用于固定待加工晶圆500，所述涂布组件包括供液装置202和涂布喷头201，所述涂布喷头201设置于所述操作台100上，且所述涂布喷头201位于所述待加工晶圆500的上方，所述供液装置202与所述涂布喷头201连接，所述清洗组件300包括清洗头，所述清洗头的出液口与所述待加工晶圆500涂覆保护液的一侧对应。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人湖北星辰技术有限公司，其通讯地址为：430205 湖北省武汉市东湖新技术开发区流芳园横路12号汇成工业科创园2号楼11F(自贸区片区)；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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