湖南斯密康新材料科技有限公司贺致富获国家专利权
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龙图腾网获悉湖南斯密康新材料科技有限公司申请的专利一种半导体清洗设备用槽体获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223505757U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422883840.9,技术领域涉及:B08B3/10;该实用新型一种半导体清洗设备用槽体是由贺致富;熊强;朱哲杰设计研发完成,并于2024-11-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体清洗设备用槽体在说明书摘要公布了:本实用新型属于半导体清洗技术领域,本实用新型公开了一种半导体清洗设备用槽体;包括清洗箱,所述清洗箱的外侧安装有阀口,所述清洗箱远离阀口的一侧安装有三组进液管,所述清洗箱的外侧设置有汇集管,所述汇集管与三组进液管均固接,所述清洗箱的内部设置有网篮,还包括:连接杆,连接杆固接在网篮的顶端。本装置通过动力机构、驱动机构、连接杆和第一正齿轮的机构设计,实现了清洗液的循环流动时,带动动力机构运行,而动力机构运行时则会通过传动杆带动驱动机构运行,而驱动机构运行则会通过第一正齿轮和连接杆带动网板转动,从而实现了晶圆的多维转动,显著提升了清洗效果使清洗液冲击力均匀作用于晶圆各部位,实现全面清洁。
本实用新型一种半导体清洗设备用槽体在权利要求书中公布了:1.一种半导体清洗设备用槽体,包括清洗箱1,所述清洗箱1的外侧安装有阀口2,所述清洗箱1远离阀口2的一侧安装有三组进液管3,所述清洗箱1的外侧设置有汇集管4,所述汇集管4与三组进液管3均固接,所述清洗箱1的内部设置有网篮5,其特征在于,还包括: 连接杆7,连接杆7固接在网篮5的顶端,所述连接杆7的外侧固接有第一正齿轮8,所述第一正齿轮8的外围设置有驱动机构,所述驱动机构用于转动连接杆7; 传动杆9,传动杆9设置在汇集管4的外侧,所述传动杆9的外围设置有与驱动机构相配合的动力机构。
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