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龙图腾网获悉湖北星辰技术有限公司申请的专利一种晶圆载具清洗设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223505832U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422162465.9，技术领域涉及：B08B9/20；该实用新型一种晶圆载具清洗设备是由刘为银;韩笑;胡文超;张戈权设计研发完成，并于2024-09-03向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆载具清洗设备在说明书摘要公布了：本申请公开了一种晶圆载具清洗设备，涉及半导体技术领域，本申请的晶圆载具清洗设备，包括底座以及间隔设置于底座上的清洗槽和伸缩组件，伸缩组件远离底座的一端固定有支架，支架的下表面连接设置有多个放置板和超声组件，每个放置板具有多个用于放置待清洗晶圆载具的放置位，伸缩组件收缩时，放置板和超声组件浸入清洗槽的清洗液中，超声组件产生超声使得清洗液震动以对待清洗晶圆载具进行清洗。本申请提供的晶圆载具清洗设备，能够提高晶圆载具的清洗效果和效率。

本实用新型一种晶圆载具清洗设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆载具清洗设备，其特征在于，包括底座以及间隔设置于所述底座上的清洗槽和伸缩组件，所述伸缩组件远离所述底座的一端固定有支架，所述支架的下表面连接设置有多个放置板和超声组件，每个所述放置板具有多个用于放置待清洗晶圆载具的放置位，所述伸缩组件收缩时，所述放置板和所述超声组件浸入所述清洗槽的清洗液中，所述超声组件产生超声使得清洗液震动以对所述待清洗晶圆载具进行清洗； 所述支架远离所述底座的一侧还固定设置有驱动源，多个所述放置板通过传动组件与所述驱动源连接，所述放置板在所述驱动源的作用下转动 多个所述放置板呈行列式设置，所述传动组件包括与驱动源连接的螺杆，所述螺杆沿靠近所述底座的方向延伸，同一列的多个放置板依次通过轴依次连接形成板组，所述板组分别与螺杆连接； 所述放置位上设置夹持组件，所述夹持组件夹持所述待清洗晶圆载具的夹持部以固定所述待清洗晶圆载具； 所述夹持组件包括底板以及间隔设置于所述底板外周的夹持件，所述夹持件与所述底板弹性连接，所述夹持部位于底板上时，所述夹持件在弹性件的作用下夹持所述夹持部； 所述清洗槽包括内槽以及围合在所述内槽外周的外槽，所述内槽内还设置有检测仪，所述检测仪检测所述内槽内的清洗液的参数，根据所述检测仪的测试结果判断清洗液是否满足需求。

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