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龙图腾网获悉北京晶亦精微科技股份有限公司申请的专利基板清洗用排气装置及基板清洗系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223505861U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421867480.7，技术领域涉及：B08B15/02；该实用新型基板清洗用排气装置及基板清洗系统是由张博;张为强;尹影;李婷设计研发完成，并于2024-08-02向国家知识产权局提交的专利申请。

本基板清洗用排气装置及基板清洗系统在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种基板清洗用排气装置及基板清洗系统，属于基板清洗装置技术领域，包括排气组件、动力器和开启组件，排气组件具有多个相互独立的排气通道，所述排气通道的进气端连通于清洗罩，出气端连通于废气处理装置；动力器连接于所述排气组件，用于将所述清洗罩内的气体沿所述排气通道输送至相应的废气处理装置；开关组件连接于所述排气通道，用于控制所述排气通道导通或封闭。本实用新型提供的基板清洗用排气装置及基板清洗系统，旨在解决现有技术中基板清洗产生的清洗液混合于空气后，无法针对不同清洗液进行相应处理，造成环境污染的问题。

本实用新型基板清洗用排气装置及基板清洗系统在权利要求书中公布了：1.基板清洗用排气装置，其特征在于，包括： 排气组件，具有多个相互独立的排气通道，所述排气通道的进气端连通于清洗罩，出气端连通于废气处理装置；所述排气组件包括主管和并联于所述主管出气端的多个支管，所述主管的进气端连通于清洗罩，每个所述支管的出气端均连通于一个废气处理装置，每个所述支管均与所述主管连通形成一个所述排气通道； 动力器，连接于所述排气组件，用于将所述清洗罩内的气体沿所述排气通道输送至相应的废气处理装置；以及 开关组件，连接于所述排气通道，用于控制所述排气通道导通或封闭； 所述开关组件包括： 切换件，绕第一轴线转动设于所述主管和多个所述支管的连接处，并将所述主管与多个所述支管隔断，所述第一轴线平行于所述主管的轴线，所述切换件开设有导气腔，还开设有连通于所述导气腔的进气孔和切换孔，所述进气孔还连通于所述主管，用于将所述主管内的气体引入所述导气腔内，所述切换件绕所述第一轴线转动使所述切换孔连通于其中一个所述支管；以及 驱动件，连接于所述切换件，用于控制所述切换件绕所述第一轴线转动。

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