济南光微半导体科技有限公司单佩获国家专利权
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龙图腾网获悉济南光微半导体科技有限公司申请的专利一种石英板双面研磨装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223506950U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423081505.3,技术领域涉及:B24B37/28;该实用新型一种石英板双面研磨装置是由单佩;李明骏;孙世轩;张弛;张申奥;刘书常;关蕾;黄芸设计研发完成,并于2024-12-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种石英板双面研磨装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种石英板双面研磨装置,包括下定盘以及多个用于放置石英板的游星轮,下定盘位于游星轮下侧,下定盘及游星轮之间形成有过液间隙,下定盘及游星轮二者之一设置有朝向过液间隙凸起的支撑凸起,支撑凸起与二者之另一相抵接以支撑游星轮,下定盘设置有驱动孔,多个游星轮环绕驱动孔。研磨液和抛光液能够在过液间隙内顺畅流通,减少了死角并提高了液体利用率。流液孔的设计保证了液体均匀覆盖整个加工区域,避免局部过热或不均,提升了加工质量。此外,下定盘上的驱动孔设计使多个游星轮可由同一动力源驱动,简化了驱动系统,降低了成本和维护难度,确保所有游星轮同步自转,提高了加工一致性和精度。
本实用新型一种石英板双面研磨装置在权利要求书中公布了:1.一种石英板双面研磨装置,其特征在于,包括下定盘以及多个用于放置所述石英板的游星轮,所述下定盘位于所述游星轮下侧,所述下定盘及所述游星轮之间形成有过液间隙,所述下定盘及所述游星轮二者之一设置有朝向所述过液间隙凸起的支撑凸起,所述支撑凸起与二者之另一相抵接以支撑所述游星轮,所述下定盘设置有驱动孔,多个所述游星轮环绕所述驱动孔。
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