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深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司寇文龙获国家专利权

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龙图腾网获悉深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司申请的专利一种供给装置及化学机械研磨设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223506952U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423067227.6,技术领域涉及:B24B37/34;该实用新型一种供给装置及化学机械研磨设备是由寇文龙设计研发完成,并于2024-12-11向国家知识产权局提交的专利申请。

一种供给装置及化学机械研磨设备在说明书摘要公布了:本申请公开一种供给装置及化学机械研磨设备,供给装置包括:基座、支撑臂、供给管和落点组件;其中,支撑臂与基座连接,支撑臂具有设定的长度方向,支撑臂包括多节支臂;多节支臂沿长度方向可拆卸地依次连接;供给管具有用于喷洒液体的出液端;落点组件滑动装配在支撑臂上,供给管连接于落点组件,落点组件能够沿长度方向滑动,从而将供给管的出液端移动至预定位置。避免支撑臂过长而对研磨头和研磨垫修整器的运动造成干涉。

本实用新型一种供给装置及化学机械研磨设备在权利要求书中公布了:1.一种供给装置,其特征在于,应用于化学机械研磨设备,包括: 基座; 与所述基座连接的支撑臂,所述支撑臂具有设定的长度方向,所述支撑臂包括多节支臂;多节所述支臂可拆卸地依次连接; 供给管,具有用于喷洒液体的出液端; 滑动装配在所述支撑臂上的落点组件,所述供给管连接于所述落点组件,所述落点组件能够沿所述长度方向滑动,从而将所述出液端移动至预定位置。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司,其通讯地址为:518111 广东省深圳市龙岗区平湖街道山厦社区中环大道中科谷产业园D栋101;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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