深圳市矩阵多元科技有限公司张亮获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市矩阵多元科技有限公司申请的专利一种真空镀膜工艺箱及真空镀膜系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223509935U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422950776.1，技术领域涉及：C23C14/22；该实用新型一种真空镀膜工艺箱及真空镀膜系统是由张亮;李永杰;龚文志;邵寿潜;张晓军设计研发完成，并于2024-11-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种真空镀膜工艺箱及真空镀膜系统在说明书摘要公布了：本实用新型属于真空镀膜设备技术领域，公开了一种真空镀膜工艺箱及真空镀膜系统，真空镀膜工艺箱包括箱体，铰接有箱门；箱体设有气道，气道连通有第一接口和第二接口；外接管，安装于箱体；外接管的第一端设有用于连接外部管路的外接头，外接管的第二端与第一接口连接；布气板，安装于箱门朝向箱体的一侧；布气板设有多个布气孔；输气管组，安装于箱门；输气管组的第一端与第二接口对齐，输气管组的第二端与布气板连接；其中，箱门处于关闭状态时，输气管组的第一端与第二接口连通。根据本实用新型的真空镀膜工艺箱，能在箱门关闭时确保工艺气体顺畅地进入工艺箱内，同时避免管路对箱门的开闭造成影响。
本实用新型一种真空镀膜工艺箱及真空镀膜系统在权利要求书中公布了：1.一种真空镀膜工艺箱，其特征在于，包括： 箱体，铰接有箱门；所述箱体设有气道，所述气道连通有第一接口和第二接口； 外接管，安装于所述箱体；所述外接管的第一端设有用于连接外部管路的外接头，所述外接管的第二端与所述第一接口连接； 布气板，安装于所述箱门朝向所述箱体的一侧；所述布气板设有多个布气孔； 输气管组，安装于所述箱门；所述输气管组的第一端与所述第二接口对齐，所述输气管组的第二端与所述布气板连接； 其中，所述箱门处于关闭状态时，所述输气管组的第一端与所述第二接口连通。
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