北纬三十八度集成电路制造有限公司宿宇峰获国家专利权
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龙图腾网获悉北纬三十八度集成电路制造有限公司申请的专利一种新型的溅射成膜机台获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223509943U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423047802.6，技术领域涉及：C23C14/34；该实用新型一种新型的溅射成膜机台是由宿宇峰;胡志雄;闫文清;李胜蓉设计研发完成，并于2024-12-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种新型的溅射成膜机台在说明书摘要公布了：本实用新型属于溅射成膜机领域，特别是公开了一种新型的溅射成膜机台，采用的技术方案：包括机台腔体，机台腔体中心处设置有滚筒，滚筒的外表面用于安装有晶圆，机台腔体的侧壁至少设置有一个溅射池，机台腔体的内壁设置有衬板，衬板朝向滚筒一侧的表面凹凸不平。本实用新型通过将腔体内金属衬板进行改进，提高粘附颗粒物的能力，提升产品外观及性能良率，延长保养周期提升产能。
本实用新型一种新型的溅射成膜机台在权利要求书中公布了：1.一种新型的溅射成膜机台，包括机台腔体1，机台腔体1中心处设置有滚筒2，滚筒2的外表面用于安装有晶圆3，机台腔体1的侧壁至少设置有一个溅射池4，其特征在于：所述机台腔体1的内壁设置有衬板5，衬板5朝向滚筒2一侧的表面凹凸不平。
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