肇庆市鸿利达真空设备科技有限公司黄红峰获国家专利权
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龙图腾网获悉肇庆市鸿利达真空设备科技有限公司申请的专利一种多室真空磁控镀膜机获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223509945U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422621737.7,技术领域涉及:C23C14/35;该实用新型一种多室真空磁控镀膜机是由黄红峰;龙强设计研发完成,并于2024-10-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种多室真空磁控镀膜机在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种多室真空磁控镀膜机,包括若干依次连通的真空腔体,且真空腔体至少有一个真空腔体用于对工件进行磁控镀膜,真空腔体的进口端、出口端以及相邻的真空腔体之间均连接有隔断装置,隔断装置用于开启或关闭工件的进出通道,真空腔体上均设置有若干抽真空组件,抽真空组件由若干分子泵组成,分子泵用于对真空腔体进行抽真空。本实用新型提出的一种多室真空磁控镀膜机,为多真空腔体组合结构,磁控镀膜腔体设置为两个及以上时,可单独或者同时对工件进行镀膜,有效地提高生产效率;且真空腔体通过采用多个分子泵进行抽真空,使得真空度波动小,可有效地提高真空镀膜的稳定性。
本实用新型一种多室真空磁控镀膜机在权利要求书中公布了:1.一种多室真空磁控镀膜机,其特征在于,包括:若干依次连通的真空腔体100,且至少有一个所述真空腔体100用于对工件进行磁控镀膜,所述真空腔体100的进口端、出口端以及相邻的所述真空腔体100之间均连接有隔断装置110,所述隔断装置110用于开启或关闭工件的进出通道,所述真空腔体100上均设置有若干抽真空组件120,所述抽真空组件120由若干分子泵130组成,所述分子泵130用于对所述真空腔体100进行抽真空。
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