宝鼎乾芯集成电路(杭州)有限公司王斌获国家专利权
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龙图腾网获悉宝鼎乾芯集成电路(杭州)有限公司申请的专利压紧环及溅射设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223509949U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422912444.4,技术领域涉及:C23C14/50;该实用新型压紧环及溅射设备是由王斌;窦树意;王鑫;褚飞航;张杲设计研发完成,并于2024-11-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本压紧环及溅射设备在说明书摘要公布了:一种压紧环及溅射设备,所述压紧环环体,所述环体具有相对的第一面及第二面;所述环体的第一面用于接触晶圆;接触部,位于所述环体第一面内,且位于所述环体的内侧,用于与晶圆接触,并对晶圆进行溅射遮挡。采用上述方案,可以降低晶圆在薄膜溅射工艺中的成品率损失。
本实用新型压紧环及溅射设备在权利要求书中公布了:1.一种压紧环,其特征在于,包括: 环体,所述环体具有相对的第一面及第二面;所述环体的第一面用于接触晶圆; 接触部,位于所述环体第一面内,且位于所述环体的内侧,用于与晶圆接触,并对晶圆进行溅射遮挡。
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