中丰田光电科技(珠海)有限公司;深圳劲嘉集团股份有限公司;深圳劲嘉聚能科技有限公司谢一获国家专利权
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龙图腾网获悉中丰田光电科技(珠海)有限公司;深圳劲嘉集团股份有限公司;深圳劲嘉聚能科技有限公司申请的专利一种物理气相沉积镀膜设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223509955U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423070412.0，技术领域涉及：C23C14/56；该实用新型一种物理气相沉积镀膜设备是由谢一;吕伟;于钦芳;李静设计研发完成，并于2024-12-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种物理气相沉积镀膜设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供的一种物理气相沉积镀膜设备，包括真空室，所述真空室内设置有放卷装置和收卷装置，所述放卷装置放膜，所述收卷装置收膜，所述放卷装置与所述收卷装置之间沿着走膜路径设置有导辊、水冷辊和弯辊，从所述放卷装置放出的薄膜依次绕过所述导辊、水冷辊和弯辊，最后由所述收卷装置收回，所述弯辊上设置有黑色的氮化硅陶瓷层，且所述弯辊的弓度为14°‑17°。本实用新型的氮化硅陶瓷层为导热材料，且为黑色，一方面可以具有更好的吸热效果，另一方面黑色氮化硅陶瓷也可以更好的吸收静电，由于水冷辊是冷的，而且弯辊表面镀了一层黑色的导热材料，可以更好地把热量传递掉，薄膜在辊上受热时热量能很快传走，薄膜不太容易被烘烤变形出现线条。
本实用新型一种物理气相沉积镀膜设备在权利要求书中公布了：1.一种物理气相沉积镀膜设备，包括真空室，其特征在于，所述真空室内设置有放卷装置和收卷装置，所述放卷装置放膜，所述收卷装置收膜，所述放卷装置与所述收卷装置之间沿着走膜路径设置有导辊、水冷辊和弯辊，从所述放卷装置放出的薄膜依次绕过所述导辊、水冷辊和弯辊，最后由所述收卷装置收回，所述弯辊上设置有黑色的氮化硅陶瓷层，且所述弯辊的弓度为14°-17°。
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