深圳市矩阵多元科技有限公司李永杰获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市矩阵多元科技有限公司申请的专利一种真空镀膜设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223509956U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423066164.2，技术领域涉及：C23C16/44；该实用新型一种真空镀膜设备是由李永杰;邵寿潜;张亮;龚文志;张晓军设计研发完成，并于2024-12-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种真空镀膜设备在说明书摘要公布了：本申请提供了一种真空镀膜设备，属于半导体生产设备技术领域，包括：真空腔体；基片台，所述基片台包括载片台；电源控制模块，所述电源控制模块包括射频电源、切换单元和接地单元，所述射频电源和所述接地单元均连接于所述切换单元，所述切换单元连接于所述载片台，在工艺处理过程中，利用切换单元连接射频电源来进行基板处理，工艺处理完成之后，利用切换单元控制射频电源断开，并连接接地单元，使得载片台接地，此时基板还放置在基片台上，能够有效消除基板上可能残留的静电，不会受到基板被顶升的影响，能够有效降低基板破片的风险、降低对其他工序的影响，结构设计简单。
本实用新型一种真空镀膜设备在权利要求书中公布了：1.一种真空镀膜设备，其特征在于，包括： 真空腔体，所述真空腔体的内部设置有真空腔室； 基片台，所述基片台包括支撑杆和载片台，所述支撑杆穿设于所述真空腔体的底部，所述载片台设置于所述支撑杆的上端，并位于所述真空腔室内； 电源控制模块，所述电源控制模块包括射频电源、切换单元和接地单元，所述射频电源和所述接地单元均连接于所述切换单元，所述切换单元连接于所述载片台； 其中，所述切换单元用于控制所述射频电源或所述接地单元连接所述载片台。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深圳市矩阵多元科技有限公司，其通讯地址为：518131 广东省深圳市龙华区民治街道上芬社区龙屋工业区6号厂房101一、二楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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