湖北江城芯片中试服务有限公司方万一获国家专利权
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龙图腾网获悉湖北江城芯片中试服务有限公司申请的专利气流环组件及基板处理装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223509957U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422499774.5，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型气流环组件及基板处理装置是由方万一;王成宏;王坤;应程设计研发完成，并于2024-10-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本气流环组件及基板处理装置在说明书摘要公布了：本申请涉及一种气流环组件及基板处理装置，气流环组件包括：安装座、气体环及多个第一充气管。安装座连接于反应腔室的内壁。气体环装设于安装座上，气体环包括沿其周向方向依次设置的多个分段气道，任意相邻两个分段气道互不连通，每个分段气道设有至少一个第一排气部。各个第一充气管与各个分段气道对应连通，每个第一充气管上均设有流量调节阀与压力调节阀，每个第一充气管均用于与提供反应气体的气源连通。能便于实现对基板的各个区域沉积的薄膜膜厚进行调节，能提高薄膜的膜厚的均一性，机台也无需如相关技术中的降温重复开腔即可调整薄膜沉积的均匀性，进而能大大节省人力，提升机台的工作效率与正常运行时间。
本实用新型气流环组件及基板处理装置在权利要求书中公布了：1.一种气流环组件，用于设置于基板处理装置的反应腔室内部，其特征在于，所述气流环组件包括： 安装座，所述安装座连接于所述反应腔室的内壁； 气体环，所述气体环装设于所述安装座上，所述气体环包括沿其周向方向依次设置的多个分段气道，任意相邻两个所述分段气道互不连通，每个所述分段气道设有至少一个第一排气部； 多个第一充气管，各个所述第一充气管与各个所述分段气道对应连通，每个所述第一充气管上均设有流量调节阀与压力调节阀，每个所述第一充气管均用于与提供反应气体的气源连通。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人湖北江城芯片中试服务有限公司，其通讯地址为：430000 湖北省武汉市武汉东湖新技术开发区光谷一路227号3号楼3号(自贸区武汉片区)；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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