北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司颜铭铭获国家专利权
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龙图腾网获悉北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司申请的专利一种炉管装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223509958U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422908233.3，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型一种炉管装置是由颜铭铭;翟冬梅;李亚伟;贾永鑫;邢长昕设计研发完成，并于2024-11-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种炉管装置在说明书摘要公布了：本申请提供一种炉管装置，包括导磁外管、励磁线圈和内管，所述导磁外管包括能够容纳所述内管的腔室，所述内管设置在所述腔室内，且所述内管底部包括可供目标件进出的管口，所述励磁线圈缠绕在所述腔室的外侧壁上，用于产生可变磁场。本申请的炉管装置可以减轻目标件表面的热预算，提高薄膜生长速率，提高大深宽比薄膜的台阶覆盖率，实现对薄膜生长、成核机制的调控以及生长超薄、连续、保形的薄膜。
本实用新型一种炉管装置在权利要求书中公布了：1.一种炉管装置，其特征在于，包括导磁外管、励磁线圈和内管，所述导磁外管包括能够容纳所述内管的腔室，所述内管设置在所述腔室内，且所述内管底部包括可供目标件进出的管口，所述励磁线圈缠绕在所述腔室的外侧壁上，用于产生可变磁场，所述导磁外管还包括磁靴，与所述腔室连接呈口字型；所述磁靴包括第一端部、第二端部和磁靴本体，所述第一端部与所述腔室的第一端固定连接，所述第二端部与所述磁靴本体可枢转连接，所述第二端部与所述腔室的第二端活动连接。
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