洛阳八佳电气科技股份有限公司高晓堂获国家专利权
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龙图腾网获悉洛阳八佳电气科技股份有限公司申请的专利一种化学气相沉积炉沉积室气体导入装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223509959U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423033718.9，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型一种化学气相沉积炉沉积室气体导入装置是由高晓堂;袁宇杰;曹俊英;刘锦成设计研发完成，并于2024-12-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种化学气相沉积炉沉积室气体导入装置在说明书摘要公布了：一种化学气相沉积炉沉积室气体导入装置，涉及化学气相沉积炉技术领域，包括上下插接设置的上导气口座和下底座，上导气口座由上部的方形座和延伸在方形座下部的圆柱筒组成，方形座的中心处设有与圆柱筒连通的内孔，沿方形座的外边四面间隔均匀的设有四个气嘴，气嘴外端上的气嘴接头分别与外部的气源连接，气嘴的内端分别与方形座内部的进气通道连通，进气通道均沿内孔的切线方向布置，且与内孔连通，下底座的内部设有锥形内孔，且与圆柱筒连通设置；本实用新型气体分布均匀、定向性更好，由于气流定向性好，气体可以扩散的更远，很好的解决了大型化学气相沉积炉气体流场的问题，且设置为上下插接结构，安装方便快捷。
本实用新型一种化学气相沉积炉沉积室气体导入装置在权利要求书中公布了：1.一种化学气相沉积炉沉积室气体导入装置，包括上下插接设置的上导气口座和下底座，其特征是：上导气口座由上部的方形座和延伸在方形座下部的圆柱筒组成，方形座的中心处设有与圆柱筒连通的内孔，沿方形座的外边四面间隔均匀的设有四个气嘴，气嘴外端上的气嘴接头分别与外部的气源连接，气嘴的内端分别与方形座内部的进气通道连通，进气通道均沿内孔的切线方向布置，且与内孔连通，下底座的内部设有锥形内孔，且与圆柱筒连通设置。
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