深圳市矩阵多元科技有限公司张亮获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市矩阵多元科技有限公司申请的专利一种真空镀膜设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223509960U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423066160.4，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型一种真空镀膜设备是由张亮;李永杰;黄承语;龚文志;邵寿潜;张晓军设计研发完成，并于2024-12-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种真空镀膜设备在说明书摘要公布了：本申请提供了一种真空镀膜设备，属于半导体生产设备技术领域，包括：腔体，设置真空腔室；盖板，设置有进气口；气体管路，包括第一管路和第二管路，所述第一管路设置于所述腔体、并延伸至所述真空腔室的开口端，所述第二管路设置于所述盖板上、且连接于所述进气口，本申请将气体管路从盖板和腔体的对接处分成第一管路和第二管路，使得盖板在闭合真空腔室的情况下，第一管路、第二管路对正并连通，反之在盖板打开的时候，第一管路、第二管路即错位断开，可以正常实现工艺气体的输送。并且，第一管路设置在腔体上，第二管路设置在盖体上，在盖体转动开闭的过程中，均不会妨碍盖体的转动，因此能够有效解决传统结构中气路对盖板开闭的影响。
本实用新型一种真空镀膜设备在权利要求书中公布了：1.一种真空镀膜设备，其特征在于，包括： 腔体，所述腔体设置有一端开口的真空腔室； 盖板，所述盖板转动设置于所述真空腔室的开口端，所述盖板设置有进气口； 气体管路，所述气体管路用于连接所述进气口和气源，所述气体管路包括第一管路和第二管路，所述第一管路设置于所述腔体、并延伸至所述真空腔室的开口端，所述第二管路设置于所述盖板上、且连接于所述进气口，在所述盖板闭合所述真空腔室的情况下，所述第一管路连通所述第二管路。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深圳市矩阵多元科技有限公司，其通讯地址为：518131 广东省深圳市龙华区民治街道上芬社区龙屋工业区6号厂房101一、二楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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