宝虹科技股份有限公司吕理宏获国家专利权
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龙图腾网获悉宝虹科技股份有限公司申请的专利具有电磁屏蔽功能的沉积设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223509963U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422849261.2，技术领域涉及：C23C16/509；该实用新型具有电磁屏蔽功能的沉积设备是由吕理宏;游克强;余兴政设计研发完成，并于2024-11-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本具有电磁屏蔽功能的沉积设备在说明书摘要公布了：一种具有电磁屏蔽功能的沉积设备，包括一反应腔、一喷淋头、一第一电极、一承载部、一加热元件、一第二电极、一电浆源及一电磁屏蔽元件，该反应腔包括一本体及一制程空间，该喷淋头与该第一电极设置于该制程空间上方，该承载部设置于该制程空间下方且用于承载一基板，该加热元件被配置为加热该基板，该加热元件的一电路电性连接至一电力源，该第二电极设置于制程空间下方，该电磁屏蔽元件相邻于该加热元件以屏蔽来自该电浆源的信号，该电磁屏蔽元件具有一与该承载平面平行地设置的网状结构，且该电磁屏蔽元件连接至一接地。
本实用新型具有电磁屏蔽功能的沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种具有电磁屏蔽功能的沉积设备，其特征在于，包括： 一反应腔，包括一本体及一形成于该本体之内的制程空间； 一喷淋头，设置于该制程空间的一上方； 一第一电极，设置于该制程空间的该上方； 一承载部，设置于该制程空间的一下方且用于承载一待沉积的基板； 一加热元件，被配置为加热该基板，该加热元件的一电路电性连接至一电力源且由该电力源供电而对该基板加热； 一第二电极，相对该第一电极设置于该制程空间的该下方； 一电浆源，耦接至该第一电极及该第二电极的至少任一；以及 一电磁屏蔽元件，该电磁屏蔽元件设置相邻于该加热元件以屏蔽来自该电浆源的信号，该电磁屏蔽元件具有一与该承载部平行地设置的网状结构，且该电磁屏蔽元件连接至一接地。
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