江苏芯梦半导体设备有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏芯梦半导体设备有限公司申请的专利一种化学镀用晶圆载具获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223509965U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423060664.5,技术领域涉及:C23C18/16;该实用新型一种化学镀用晶圆载具是由请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成,并于2024-12-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种化学镀用晶圆载具在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种化学镀用晶圆载具,涉及晶圆设备领域。该化学镀用晶圆载具包括:载具主体,具有能够支撑晶圆的若干支撑槽;配合件,设置在载具主体上方,与载具主体连接,配合件被配置为通过移载机构连接以在若干镀槽中流转;覆层结构,覆盖在若干支撑槽上,覆层结构被配置为在晶圆装载至载具主体时与晶圆直接接触。本实用新型提供的化学镀用晶圆载具能够降低对化学溶液流动方式的影响,提升化学镀的品质。
本实用新型一种化学镀用晶圆载具在权利要求书中公布了:1.一种化学镀用晶圆载具,其特征在于,包括: 载具主体110,具有能够支撑晶圆200的若干支撑槽130; 配合件120,设置在所述载具主体110上方,与所述载具主体110连接,所述配合件120被配置为通过移载机构连接以在若干镀槽中流转; 覆层结构,覆盖在若干所述支撑槽130上,所述覆层结构被配置为在晶圆200装载至所述载具主体110时与晶圆200直接接触。
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