浙江晶信绿钻科技有限公司;浙江晶盛机电股份有限公司高宇获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江晶信绿钻科技有限公司;浙江晶盛机电股份有限公司申请的专利籽晶固定工装获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223510038U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423079565.1,技术领域涉及:C30B29/04;该实用新型籽晶固定工装是由高宇;付春雷;康亚军设计研发完成,并于2024-12-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本籽晶固定工装在说明书摘要公布了:本申请提供了一种籽晶固定工装,属于半导体加工技术领域,解决了现有技术籽晶与钼台粘接效果欠佳的问题。本申请包括:基座,基座上开设有固定区,固定区用于固定钼台和籽晶;施压组件,施压组件设置于基座上且具有多个施压件,多个施压件在水平方向排布设置,施压件在竖直方向上具有活动自由度,施压件具有进入固定区的趋势;以及限位组件,所述限位组件包括限位件,限位件内形成一限位圈,限位圈在水平方向分别与多个施压件抵接以限位。本申请通过施压件下压以固定籽晶与钼台,由于施压件为多个可以分别作用于不同厚度、粘接间隙的籽晶,从而为钼台上各个籽晶提供最合适的施压作用力,排出多余的气泡和粘接剂,提高各籽晶与钼台的固定效果。
本实用新型籽晶固定工装在权利要求书中公布了:1.一种籽晶固定工装,其特征在于,包括: 基座100,所述基座100上开设有固定区110,所述固定区110用于固定钼台和籽晶; 施压组件200,所述施压组件200设置于所述基座100上且具有多个施压件210,多个所述施压件210在水平方向排布设置,所述施压件210在竖直方向上具有活动自由度,所述施压件210具有进入所述固定区110的趋势;以及 限位组件300,所述限位组件300包括限位件310,所述限位件310内形成一限位圈320,所述限位圈320在水平方向分别与多个所述施压件210抵接以限位。
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