拉普拉斯(广州)半导体科技有限公司龙占勇获国家专利权
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龙图腾网获悉拉普拉斯(广州)半导体科技有限公司申请的专利密封门机构及半导体工艺设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223512505U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423011489.0，技术领域涉及：F27D1/18；该实用新型密封门机构及半导体工艺设备是由龙占勇;周亮;金文凯;王勤勤;林佳继设计研发完成，并于2024-12-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本密封门机构及半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本实用新型属于半导体工艺设备技术领域，公开了一种密封门机构及半导体工艺设备。密封门机构包括滑动组件、门体和驱动组件，滑动组件包括有导轨和低发尘滑块，低发尘滑块滑动安装于导轨。门体安装于低发尘滑块，并能够沿导轨移动至第一预设位置和第二预设位置。驱动组件包括有驱动件和低发尘连接件，驱动件能够通过低发尘连接件使门体移动至第一预设位置和第二预设位置中的任意一个。通过该密封门机构，能够实现设备开口的敞开和密封，同时，低发尘滑块和低发尘连接件能够显著减少因摩擦作用产生的颗粒物和金属离子，保护半导体工艺装置内部环境的洁净度，从而确保对晶圆片等产品的加工工艺能够实现较高的产品质量和良品率。
本实用新型密封门机构及半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.密封门机构，用于敞开和密封设备开口，其特征在于，包括： 滑动组件，所述滑动组件包括有导轨和低发尘滑块，所述导轨固定设置于所述设备开口处，且所述设备开口的两侧各安装有一个所述导轨，所述低发尘滑块滑动安装于导轨； 门体，所述门体安装于所述低发尘滑块，并能够沿所述导轨移动至第一预设位置和第二预设位置；当所述门体处于所述第一预设位置时，所述门体将所述设备开口敞开，当所述门体处于所述第二预设位置时，所述门体将所述设备开口密封； 驱动组件，所述驱动组件包括有驱动件和低发尘连接件，所述驱动件传动连接于所述低发尘连接件，所述低发尘连接件连接于所述门体，所述驱动件能够通过所述低发尘连接件使所述门体移动至所述第一预设位置和所述第二预设位置中的任意一个。
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