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龙图腾网获悉武汉罗博半导体科技有限公司申请的专利光学检测装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223513162U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422907333.4，技术领域涉及：G01N21/95；该实用新型光学检测装置是由梅爽;王祥铜;韦晨设计研发完成，并于2024-11-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本光学检测装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种光学检测装置，本实用新型提出的光学检测装置包括：红外波段扩展相机，红外波段扩展显微镜筒，红外波段扩展物镜，夹盘，同轴照明光源，转轮，待检测晶圆；红外波段扩展相机与红外波段扩展显微镜筒连接，转轮设置于红外波段扩展显微镜筒下方，红外波段扩展物镜设置于转轮下方，同轴照明光源设置于红外波段扩展显微镜筒的一侧，所述夹盘设置于红外波段扩展物镜下方，待检测晶圆设置于夹盘之上，随着夹盘的移动，红外波段扩展相机按照设定频率进行触发拍照，同轴照明光源按照设定频率进行触发频闪，以同时获取待检测晶圆的正反两面信息，且该装置结构简单，在不增加晶圆翘曲程度的情况下，能同时兼容可见光波段和红外波段。

本实用新型光学检测装置在权利要求书中公布了：1.一种光学检测装置，其特征在于，所述光学检测装置包括：红外波段扩展相机100，红外波段扩展显微镜筒200，红外波段扩展物镜300，夹盘400，同轴照明光源500，转轮600，待检测晶圆800； 所述红外波段扩展相机100与所述红外波段扩展显微镜筒200连接，所述转轮600设置于所述红外波段扩展显微镜筒200下方，所述红外波段扩展物镜300设置于所述转轮600下方，所述同轴照明光源500设置于所述红外波段扩展显微镜筒200的一侧，所述夹盘400设置于所述红外波段扩展物镜300下方，所述待检测晶圆800设置于所述夹盘400之上； 所述同轴照明光源500产生可见光，可见光经过所述红外波段扩展显微镜筒200内的分光棱镜反射穿过所述红外波段扩展物镜300到所述待检测晶圆800，在所述待检测晶圆800上发生镜面反射通过所述红外波段扩展物镜300和所述红外波段扩展显微镜筒200回到所述红外波段扩展相机100，在所述红外波段扩展相机100上进行成像； 所述同轴照明光源500产生红外光，红外光经过所述红外波段扩展显微镜筒200内分光棱镜反射穿过所述红外波段扩展物镜300到所述待检测晶圆800，部分光在所述待检测晶圆800上发生镜面反射通过所述红外波段扩展物镜300和所述红外波段扩展显微镜筒200回到所述红外波段扩展相机100，部分光穿过所述待检测晶圆800，在所述夹盘400上进行反射，再次穿过所述待检测晶圆800通过所述红外波段扩展物镜300和所述红外波段扩展显微镜筒200回到所述红外波段扩展相机100进行成像； 随着所述夹盘400的移动，所述红外波段扩展相机100按照设定频率进行触发拍照，所述同轴照明光源500按照所述设定频率进行触发频闪，以同时获取所述待检测晶圆800的正反两面信息。

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