青岛方益技术有限公司王奕森获国家专利权
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龙图腾网获悉青岛方益技术有限公司申请的专利一种光刻版及光刻系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223513434U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423203286.1，技术领域涉及：G03F1/62；该实用新型一种光刻版及光刻系统是由王奕森;张哲玮设计研发完成，并于2024-12-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光刻版及光刻系统在说明书摘要公布了：本申请提供一种光刻版及光刻系统。光刻版包括基板和防尘膜组件，其中，基板具有相对设置且平行的第一基板面和第二基板面，第一基板面上设置有光刻图形层。防尘膜组件包括介质层和外框，介质层为透明刚性薄膜结构。外框具有相对的第一开口端和第二开口端，介质层对第一开口端形成密封。外框的第二开口端与第一基板面密封贴合，外框、第一基板面与介质层围成密闭空腔。在本申请的技术方案中，由于介质层为刚性薄膜结构，在光刻流程中不会因气压变化而产生变形，可以确保准确地将光刻图形投射到晶圆或衬底表面。此外，光刻版设置有密封空腔，有助于确保光刻图形不受污染。
本实用新型一种光刻版及光刻系统在权利要求书中公布了：1.一种光刻版，其特征在于，包括： 基板1，具有相对设置且平行的第一基板面101和第二基板面102，所述第一基板面101上设置有光刻图形层103； 防尘膜组件，包括介质层2和外框3，所述介质层2为透明刚性薄膜结构，所述外框3具有相对的第一开口端301和第二开口端302，所述介质层2对所述第一开口端301形成密封；所述外框3的第二开口端302与所述第一基板面101密封贴合，所述外框3、所述第一基板面101与所述介质层2围成密闭空腔4。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人青岛方益技术有限公司，其通讯地址为：266426 山东省青岛市自由贸易试验区青岛片区太白山路172号中德生态园双创中心6671室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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