甬矽半导体(宁波)有限公司何正鸿获国家专利权
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龙图腾网获悉甬矽半导体(宁波)有限公司申请的专利光刻胶烘烤箱获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223513437U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423222585.X，技术领域涉及：G03F7/16；该实用新型光刻胶烘烤箱是由何正鸿;韩新;田旭;王立钢设计研发完成，并于2024-12-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本光刻胶烘烤箱在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种光刻胶烘烤箱，涉及晶圆烘烤技术领域。该光刻胶烘烤箱包括烘烤箱体、晶圆载盘、第一加热装置和第二加热装置，晶圆载盘固定安装在烘烤箱体内，第一加热装置和第二加热装置均设置在烘烤箱体内，且第一加热装置间隔设置在晶圆载盘的上方，第二加热装置间隔设置在晶圆载盘的下方，晶圆载盘的中部贯穿设置有导热开口，第二加热装置与导热开口相对应。相较于现有技术，本实用新型分别从上下两侧对晶圆载盘上的晶圆的两侧表面进行间隔式辐射加热，一方面能够避免直接接触带来的加热不均问题，提升加热的均匀性，另一方面两侧共同加热能够提升晶圆的受热效果，并进一步提升晶圆受热的均匀性，使得晶圆能够加热均匀且受热效果更好。
本实用新型光刻胶烘烤箱在权利要求书中公布了：1.一种光刻胶烘烤箱，其特征在于，包括烘烤箱体、晶圆载盘、第一加热装置和第二加热装置，所述晶圆载盘固定安装在所述烘烤箱体内，用于承载涂覆有光刻胶的晶圆，所述第一加热装置和所述第二加热装置均设置在所述烘烤箱体内，且所述第一加热装置间隔设置在所述晶圆载盘的上方，用于对所述晶圆的上侧表面进行辐射加热，所述第二加热装置间隔设置在所述晶圆载盘的下方，用于对所述晶圆的下侧表面进行辐射加热，其中，所述晶圆载盘的中部贯穿设置有导热开口，所述第二加热装置与所述导热开口相对应。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人甬矽半导体(宁波)有限公司，其通讯地址为：315400 浙江省宁波市余姚市中意宁波生态园滨海大道60号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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