苏州芯能光电科技有限公司刘曜轩获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州芯能光电科技有限公司申请的专利一种曝光设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223513439U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423099105.5，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型一种曝光设备是由刘曜轩;陈世勳设计研发完成，并于2024-12-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种曝光设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种曝光设备，包括目标光投射模块、待曝光工件、对焦光处理模块以及对焦模块，目标光投射模块用于在待曝光工件上形成目标对焦光束和目标曝光光束；对焦模块包括用于接收第一目标投影光束以形成第一对焦图案和用于接收第二目标投影光束以形成第二对焦图案一维第二线性影像传感器；目标投影光束基于对焦模块对待曝光工件反射的目标对焦光束进行处理得到，目标对焦光束在待曝光工件上的焦点位置基于第一对焦图案和第二对焦图案的明暗对比度确定，以在焦点位置确定后，待曝光工件在焦点位置处基于目标曝光光束进行曝光处理。本方案一维线性影像传感器只需处理一维数据，算法和处理过程相对简单，进而提高了曝光设备的整体对焦速度。
本实用新型一种曝光设备在权利要求书中公布了：1.一种曝光设备，其特征在于，所述曝光设备包括目标光投射模块2、待曝光工件1、对焦光处理模块3以及对焦模块4，所述目标光投射模块2用于在所述待曝光工件1上形成目标光束，所述目标光束包括目标对焦光束和目标曝光光束； 所述对焦光处理模块3用于对所述待曝光工件1反射的所述目标对焦光束进行处理，以得到第一目标投影光束和第二目标投影光束，所述对焦模块4包括一维第一线性影像传感器41和一维第二线性影像传感器42，所述一维第一线性影像传感器41用于接收所述第一目标投影光束以形成第一对焦图案，所述一维第二线性影像传感器42用于接收所述第二目标投影光束以形成第二对焦图案；所述目标对焦光束在所述待曝光工件1上的焦点位置基于所述第一对焦图案和所述第二对焦图案的明暗对比度确定，以在所述焦点位置确定后，所述待曝光工件1在所述焦点位置处基于所述目标曝光光束进行曝光处理。
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