安徽量伙半导体有限公司杨锋获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽量伙半导体有限公司申请的专利一种三腔全自动传片芯片热处理设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223513912U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422672157.0，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种三腔全自动传片芯片热处理设备是由杨锋;吴承岩;郑永昌设计研发完成，并于2024-11-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种三腔全自动传片芯片热处理设备在说明书摘要公布了：本实用新型属于晶圆热处理技术领域，且公开了一种三腔全自动传片芯片热处理设备，包括前柜和后柜，所述前柜的内部固定安装有机器转台，通过机械手的设置，提高了夹具的灵活性和适应性，直线模组带动机器转台移动，机器转台从中央平台下方穿过到达卡塞台位置，机械手开始工作，伸缩柱伸出，推动两个夹具和弹性板向晶圆靠近，夹具夹住晶圆后，伸缩柱回缩，将晶圆固定在机械手的夹具中，机器转台在直线模组的带动下移动到合适位置，将晶圆传送到后柜的腔室附近，在夹取头上设计自适应调节的缓冲结构，并在夹具与晶圆的接触位置设置耐高温的弹性材料，能够根据不同尺寸和形状的晶圆自动调整夹取方式，提高设备的灵活性和适应性。
本实用新型一种三腔全自动传片芯片热处理设备在权利要求书中公布了：1.一种三腔全自动传片芯片热处理设备，包括前柜1和后柜2，其特征在于：所述前柜1的内部固定安装有机器转台3，所述机器转台3的一端安装有机械手4，所述机器转台3的底部安装有直线模组5； 所述机械手4包括夹具41、弹性板42、伸缩柱43、固定块44以及稳定带45，所述夹具41和弹性板42的数量设置有两个，所述伸缩柱43的数量设置有两组，且每组伸缩柱43的数量均设置有两个，两个所述伸缩柱43的一端均与固定块44的一端相连接，且两个伸缩柱43的另一端均贯穿两个夹具41并与两个弹性板42相连接，所述稳定带45套接于固定块44的表面。
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